超分辨在光电检测中的应用

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1、Ａｉ种化＊葦ＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＯＦＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳＣＩＥＮＣＥＡＮＤＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹＯＦＣＨＩＮＡ专业学位硕±学位论文ＭＡＳＴＥＲＴＨＥＳＩＯＮＡＬＤＥＧＲＥＥＩＳＦＯＲＰＲＯＦＥＳＳＩ雜论文题目超分辨在光电检测中的应用专业学位类别工程硕±．学号２０１３２２０４０５２９作者姓名Ｔ潘指导教师陈树强教授■分类巧密级注ＵＤＣ＾学位论文超分辨在光电检测中的应用（题名和副题名）了潘（作者姓名）指导教师陈树

2、强Ｉ教授电子科技大学成都（姓名、职称、单位名称）申请学位级别硕ｄｂ专业学位类别了程硕ｊｒ工程领域名电子与通信工程提交论文日期２０１６．０３论文答辩日期２０１６．０５学位授予单位和日期电子科技大学２０１６年０６月答辩委员会主席评阅人注１：注明（国际十进分类法ＵＤＣ》的类号。ＡＰＰＬＩＣＡＴＩＯＮＯＦＳＵＰＥＲＲＥＳＯＬＵＴＩＯＮＩＮＴＨＥＰＨＯＴＯＥＬＥＣＴＲＩＣＤＥＴＥＣＴＩＯＮＡＭａｓｔｅｒＴｈｅｓｉｓＳｕｂｍｉｔｔｅｄｔｏＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏ

3、ｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｏｆＣｈｉｎａｇｙＭａｓｔｅｒｏｆＥｎｉｎｅｅｒｉｎＭ过併：ｇｇｊＤｉｎＰａｎＡｇｕｔｈｏｒＰｒｏｆ．ＣｈｅｎＳｈｕｉａｎｑｇＳｕｐｅｒｖｉｓｏｒ：．ＳｃｈｏｏｌｏｆＰｈｙｓｉｃａｌＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＳｃｈｏｏｌ独剑性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加Ｗ标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人己经发表或撰写过的研巧成果，也不包含为获得电子科技大

4、学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。作者签名：〕满日期：年Ｉ月＞日论文使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅巧借阅。本人授权电子科技大学可Ｗ将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库迸行检索，可Ｗ采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后应连守此规定）作者签名：Ｊ禱导师签名；作表

5、＾摘要随着半导体电路的集成度越来越高，导致了微电子的关键技术尺寸开始进入纳米技术领域，因此对微电子测量技术也提出了新的挑战。由于散射度量术的诸这种测量技术被广泛使用一ＯＣＤ，作为，多优点，使得个散射度量术的重要应用（ＯｔｉｃａｌＣ加ｃａｌＤｉｍｅｎｓｉｏｎ）、、ｐ，光学关键尺寸测量技术因其无损方便离效，并逐渐成为关键尺寸测量和分析领域中的主流技术，但是这种技术受到衍射极限的限制使其分辨率不能超过其半个工作波长。光学超分辨技术的出现可Ｗ提商ＯＣＤ。，技术的分辨率，从而提离其测量精度本文的题目为超分辨在光

6、电检測中的应用但是由于光电检测的范围太大，因此本文主要是将超分辨技术应用到微电子结构关键尺寸测试（ＯＣＤ）技术中。首先介绍了金属透镜的模型Ｗ及其实现衍射极限突破的理论推导，运用ＣＳＴ软件对金属透镜进行建模，设置线光源的频率，并在远场设置天线接受线源的时。域信息和频域信息再通过天线接收的信息反演出源光源的频谱，并通过比较在没有金属透镜的倩况下反演出的源光源的频谱来得到突破衍射极限效果。通过改进徵波频段的金属透镜，在光波频段其衍射极限的仿真结果为Ｖ３４。然后对各向异性材料的电磋理论进行了推导，运用ＣＳＴ建模出由各向异性材料

7、组成的同也圆柱形双曲透镜设备，利用线光源作为发射源，将其放置在圆柱形设备的内壁，通１。过仿真可Ｗ在外璧得到放大的图像，仿真结果的其分辨率为＾５巧后将金属透镜应用到ＯＣＤ技术中，測得反射效率，再通过ＭＡＴＬＡＢ编程来拟合出光巧的参８％提商数，误差，与不使用金属透镜巧况下实验測得的光巧参数相比由原来的到〇３／〇。本文中提到的超分辨技术虽然其分辨率分别达到Ａ／３４和Ｘ１５，但是目前只局／一限于理论仿真步的研究？，将其应用到工程中还巧要进与不使用超分辨技术时实验测得的光谢参巧相比，其误差得到了缩小，提巧了測ａ巧度。关巧

8、词：ＲＣＷＡ算法，金属透镜，双曲透镜，ＯＣＤＩＡＢＳＴＲＡＣＴＡＢＳＴＲＡＣＴＷＵｈｔｈｅｒａｉｄｄｅｖｅｌ