硅基微环谐振腔的设计与制作

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1、学校化巧：１０００４密级：公开ＢＥＩＪＩＮＧＪＩＡＯＴＯＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ硕ｉｔ学位论文娃基微巧谐振腔的设计与制作作者姓郭凯丽—夸．■学科专业光学工程黒ｉ喔指导教师王智教授王＾，＾＾养院系理学院ｉ．’？■巧面货鋪函巧野＞１巧ｉｆｔ＾ｒｒｌｉｎｎ如交道乂攀硕ｉ学位论文補基微环谐振腔的设计甘制作ＴｈｅＤｅｓｉｎａｎｄＦ化ｒｉｃａｔｉｏｎｏｆＳＯＩＭｉｃｒｏｒｉｎｇ民ｅｓｏｎａｔｏｒｇ作者：郭凯丽

2、诗师：七智北京交通大学２０１６年５月学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解北京交通大学有关保留、使用学位论文的规定。特授权北京交通大学可Ｗ将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，、、提供阅览服务，并采用影印缩印或扫描等复制手段保存汇编Ｗ供査阅和借阅。同意学校向国家有关部口或机构送交论文的复印件和磁盘。学校可Ｗ为存在馆际合作关系的兄弟高校用户提供文献传递服务和交换服务。（保密的学位论文在解密后适用本授权说明）：导师签名学位论文作者签名；

3、签字円期：２〇ｌｋ年ｔ月３円签字円期；《年《月＾円１０００：学校代码：４密级公开北京交通大学硕±学位论文娃基微环谐振腔的设计与制作ＴｈｅＤｅｓｉｎａｎｄＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆＳＯＩＭｉｃｒｏｒｉｎＲｅｓｏｎａｔｏｒｇｇ作者姓名：郭凯丽学号：１３１２化０８导师姓名：王智职称：教授学位类别：工学学位级别：硕±学科专业：光学工程研究方向：全光信号处理北京交通大学２０１６年５月ｉ致谢硕±Ｈ年，从初进实验室进行课题

4、选择，开始理论学习、仿真研究、再到实验完成一，我的导师王智教授如既往地给予了我悉也的指导和关也。如今，本论文的研究工作即将完成。，感谢导师为我提供了宝贵的科研条件和友好的学术氛困一时光匆匆而过，。，要感谢的人有太多感谢路走來所有给过我鼓励和帮助的人们王智教授学识广博、工作态度严谨认真，很是令我敬佩，同时他对待学生又非常地亲切幽默，没有距离感。从大四做毕设开始跟着王智老师学习，是他带领我进入科学研究的大口，导师在科研工作中给了我很多指导和帮助。通过王智老师的努力一，我有

5、了个难得的去中国科学院半导体研究所交流学习的机会，开阔一一了我的视野。王智老师对工作严格要求，周次的组会促进了大家的交流和学习，给了我极大的帮助和支持。在此衷也地感谢四年來王智老师为我们付出这么多。光信息科学与技术研究所所长吴重庆教授丰富的科研与人生经验让人肃然起敬，他对科研工作的热情永远是我将來在学习和工作中的榜样。对于学业和生活中的困惑，实验室王健副教授给予了我很大的帮助和鼓励，同时王健老师勤奋踏实的性格督促我努力进步。。在此向两位老师致Ｗ由衷的感谢研二进入中

6、国科学院半导体研究所交流学习，李智勇研究员悉也指导我的科研工作，从李老师身上我学到了许多有益的研究方法和经验，在此向李老师表示我最衷必的感谢。还要感谢半导体所俞育德研究员组的所有老师和同学们，我在一。这里度过了近年半的时间，是他们的友好关也使我感受到温暖对于我的学习和研究工作，实验室的盛新志教授、李政勇副教授和刘试试副教授都提出了很多宝贵的意见，在此深表感谢。孙振超、王甫、杨帅、黄泽铁、李强等巧±＾及己经毕业的师兄师姐都给予了我很大的帮助，还要感谢张天雍、范哲巧、詹翔

7、空、章威等同学在我研究生期间对我的照顾，这段同窗友谊使我成长很多，和他们朝夕相处的每个时刻都将成为我美好的回化。另外，实验室管理老师吴淑惠对待学生亦师亦友，非常感谢她平时对我们的帮助。一一、、感谢起欢笑，起为青春努力奋斗的邓丽娟蒋文丽刘冰倩、袁瑞霞和。杨慧同学，她们的相伴巧友谊对我来说如此珍贵，祝愿大家的未来美好如愿最后要把深深地感谢献给我最亲爱的家人，父母和姐姐的爱护与鼓励伴我成长，在我迷茫无助时他们对我无私的爱和背后的默巧付出与支持是我最温曝的依靠和力量之源。持别

8、要感谢外甥女王依孰？，她的到来给我的世界带来了欢乐和惊喜。这段时光我将永生难忘！北京交通人巧硕十学位论文摘要ＳＯＩＳｉｌｉｃｏｎｏｎＩｎｓ山ａｔｏｒ微环谐振腔具有结构紧凑，与ＣＯＭＳ工艺兼容，适合（）一，因此其功能强大于大规模单片集成等系列优势，是集成光学中非常关键的元一器件之。它在光滤波器、光延时线、光缓存、光开关、光调制器、波长转换器、传感器、光逻辑口、激光器等领域都有着重要的研究和应用价值。本文结合国內外的微环谐振腔研究现状，基于理论分析，将仿真模拟与