柔性电路板制造过程自动监控与智能分析系统的设计与实现

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1、灣繫學＾？班％＇种：育Ｊ，祭巧扭’辑：；运巧祭矿Ｓｏｕ化ＣｈｉｎａＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｙｇｙ工程硕±学位论文Ｉｉ磐柔性电路板制造过程自动监控麵与智能分析系统的设计与实现禱，＃作者姓名＿＿＿＿＿．，’工程领域控制工程一－—－：校内指导教师罗家祥副教授校外指导教师李胜高级工程师所在学院自动化科学与工程学院论义提交日期２０１６年３月雀議觀ｌｋ：＇ｉＪｉｓ：ｋｘTheDesignan

2、dImplementationofAutomaticMonitoringandIntelligenceAnalyzingSysteminFlexiblePrintedCircuitBoardManufacturingProcessADissertationSubmittedfortheDegreeofMasterCandidate：WeiYonghengSupervisor：AssociateProf.LuoJiaxiangSouthChinaUniversityofTechnologyGuangzhou

3、，China分类号：TP3学校代号：10561学号：201321012851华南理工大学硕士学位论文柔性电路板制造过程自动监控与智能分析系统的设计与实现作者姓名：位永恒指导教师姓名、职称：罗家祥副教授申请学位级别：工程硕士工程领域名称：控制工程论文形式：产品研发□工程设计□应用研究□工程/项目管理□调研报告研究方向：装备与制造系统中的控制及技术论文提交日期：2016年3月1日论文答辩日期：2016年3月22日学位授予单位：华南理工大学学位授予日期：年月日答辩委员会成员：主席：陈雪梅委员：胡跃明、高红霞、

4、罗家祥、张梅华南理工大学学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取。得的研究成果除了文中特别加标注引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写的成果作品。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均己在文中明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律后果由本人承担。作者签名：么糾全日期；＾／６年夸月皆日学位论文版权使用授权书、本学位论文作者完全了解学校有关保留使用学位论文的规定，目Ｐ：研究生在校攻读学位期间论文工作的知识

5、产权单位属华南理工大学。学校有权保存并向国家有关部ｎ或机构送交论文的复印件和电子版，允许学位论文被查阅（除在保密期内的保密论文外）；学校可公布学位论文的全部或部分内容，可Ｗ允许采用影印、缩印或其它复制手段保存、汇编学位论一文。本人电子文档的内容和纸质论文的内容相致。本学位论文属于：□保密，在年解密后适用本授权书。＿，．巧木保密供校内师生和与学校有共享协议，同意在校园网上发布的单位浏览；同意将本人学位论文提交中国学术期刊（光盘版）电子杂志社全文出版和编入ＣＮＫＩ《中国知

6、识资源总库》，传播学位论文的全部或部分内容。＂＂请在Ｗ上相应方框内打Ｖ（）－？〇作者签名：位东歧日期化年；月乂；＇日指导教师签名；日期；八化年苗月乂日摘要制造过程自动监控是工业自动化发展的必然趋势，对保证产品质量的稳定性提供了方法，是各类生产制造企业关注的重点。在集成电路制造产业中，超高精密柔性电路板（基板）的制造技术是实现高密度倒装芯片的关键技术之一。超高精密柔性基板制造过程中关键工序的过程稳定性将直接影响高密度超薄柔性电路板的质量。课题研究了超高精密柔性基板制造过程关键工序的自动

7、监控和智能分析方法与系统，主要工作如下：(1)分析了超高精密柔性基板制造过程的关键工序及其对应的关键物理参数；(2)对超高精密柔性基板制造过程，设计了基于过程关键物理参数如线宽、线距、孔径、圆度、铜厚和工序不良率的单变量统计控制方法，对制造过程稳定性进行监控和评价；对超高精密柔性电路板制造过程中多耦合参数的关键工序，设计了基于多变量统计控制方法，对工序的波动情况进行评价和监控；实验表明两种监控方案能有效识别数据中的异常情况。(3)对超高精密柔性基板制造过程中的复杂异常情况，基于BP神经网络，建立了控制图异

8、常模式识别网络，同时实现控制图中模式的识别和异常模式特征参数的估计；实验表明该算法能够有效识别异常模式及其有效地估计异常模式所对应的特征参数。(4)以MFC为平台，开发了柔性基板制造过程自动监控与智能分析系统，实现了各功能模块，并进行了实例运行测试。本研究为超高精密柔性基板制造过程提供了实现其自动监控与智能分析的思路、方法和技术的参考。关键字：柔性电路板；统计过程控制；BP神经网络；模式识别IAbstractAutomatic