基于mems技术的质点振速传感器的研制

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4、分类号TP212学校代码10356UDC681密级公开硕士学位论文MASTERDISSERTATION基于MEMS技术的质点振速传感器的研制TheDevelopmentofParticleVelocitySensorBasedonMEMS作者杨婕专业领域仪器仪表工程校内导师王月兵研究员校外导师姚磊高工申请学位工程硕士论文类型产品研发二〇一六年三月独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果，除了文中将别加Ｗ标注和致谢之处外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得中国计量学院或其他教育机构的学一位或

5、证书而使用过的材料。与我同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示了谢意。学位论文作者签名：签字日期：年＾月？曰学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解中国计量学院有关保留、使用学位论文的规定。特授权中国计景学院可Ｗ将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库、进行检索，并采用影印缩印或扫描等复制手段保存、汇编Ｗ供查阅和借阅。同意学校向国家有关部口或机构送交论文的复印件和磁益。（保密的学位论文在解密后适用本授权说明）学位论文作者签名：导师签名：立岐＂＾签字曰期；＞／＾年抑？曰签字曰期；么）＾轉餐月／＾曰

6、致谢值此毕业论文完成之际，感谢在整个研究生期间给予我关怀和帮助的所有老师、同学、朋友和家人。首先，深深地感谢我的导师王月兵研究员三年的培养。在我攻读硕士学位期间，在课题设计、实验工作、论文撰写等各方面，王老师给予了细心的指导和无私的帮助。王老师严谨的治学态度，渊博的学识、对待科研教育认真负责、创新的态度，永远值得我学习。在此，向王老师致以我深深的谢意和永远的祝福。衷心的向王老师道一声，您辛苦了！衷心的感谢段飞博士在我实习期间对我的工作和学习上的指导和帮助，以及在我论文完成过程中给予的帮助和建议。另外，还要感谢实验室的师兄师姐和师弟师妹们，感谢你们在我需要帮助的时候伸出

7、援手。最后，感谢我的家人和朋友对我学习和生活上的关怀和支持。杨婕2016年3月基于MEMS技术的质点振速传感器的研制摘要：声压测量与质点振速测量是声学测量的两种重要手段，相对于声压测量技术研究，质点振速测量一直是该领域研究的重点与难点。本文设计并制作一种基于MEMS纳米线结构的质点振速传感器，具有―8‖字形指向性，可以广泛应用于噪声振动检测、材料检测、声源定位、水声测量。在MEMS质点振速传感器的设计上，提出了一种―体硅声腔---双纳米线‖的传感器微结构，其中硅基声腔的尺寸为200微米深、1毫米宽，两根敏感纳米线的尺寸为长度1