双狭缝扫描光束质量分析系统设计

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1、学号：S13040439硕士学位论文双狭缝扫描光束质量分析系统设计研究生姓名：李蕾学科、专业：信息与通信工程二○一六年三月分类号：TN247密级：可公开UDC：621.3编号：双狭缝扫描光束质量分析系统设计DESIGHOFQUALITYANALYSISSYSTEMFORDUALALITSCANNINGBEAM学位授予单位及代码：长春理工大学（10186）学科专业名称及代码：信息与通信工程（081001）研究方向：光电传感与光电探测技术申请学位级别：工学硕士指导教师：臧景峰副教授研究生：李蕾论文起止时间：2014.09—2015.11长春理工大学硕±学位论文原创性声明》，《

2、双本人郑重声明：所呈交的硕±学位论文狭缝扫描光束质量分析系统设计是本人在指导教师的指导下，独立进行研巧工作所取得的成果。除文中已经注明引用或集体己经发表或撰写过的作品成果。对本文的内容外，本论文不包含任何其他个人。本人完全意识到本的研究做出重要贡献的个人和集体，均己在文中Ｗ明确方式标明。．声明的法律结果由本入承担．．．一化者答名：：！畫地（年玉月Ｊｊ（日长春理工大学学位论文版权使用授权书。本学位论文作者及指导教师完全了解长春理工大学硕±、博壬学位论文版权使，’、中国优秀博硕壬学位论用规定，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所文全文数据库

3、和ＣＮＫＩ系列数据库及其它国家有关部口或机构送交学位论文的复印件。本人授权长春理工大学可Ｗ将本学位论文的全部和电子版，允许论文被查阅和借阅或部分内容编入有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。作者签名：方賓年＿１月１＾日＇剧币签名；碱《峰］名！年＿３＿月＿１＿＾日．．‘．．．吉．．？．；摘要随着激光越来越广泛的应用，激光光斑功率，光束质量因子与描述光束质量的其他参数的测量己成为热门课题，而目前国内对于激光各个参数的测量，虽然已经研发出完整的成套测量系统，但是大多用于研发领域，还未出现可以简单快速

4、且可被广泛工业化的激光光束测量系统。如今对激光光束质量的测量方法，测量速度与测量精度无法同时兼顾。为了兼顾测量速度与精度的目的，提出了双狭缝扫描法。因为此方法不需要在光路中使用衰减器，降低了数据分析复杂度。选用嵌入式技术完成对整个系统的控制与数据处理，体积小便于携带，可实现对数据实时处理。进行了理论分析和实验验证，实现了快速同步测量两轴轴功率分布，动态范围可达到70dB，扫描速率为2到18Hz，可用于分析连续或脉冲激光光束。结果表示这个改进可以同时兼顾测量速度与精度。关键词：双狭缝扫描法，激光光束质量，图像处理，功率IABSTRACTBecausethelaseriswidely

5、used,theimpactofvariousdisciplinestoproducegraduallybecomeslarge,thelaserspotpower,beamqualityfactormeasuredbeamqualityanddescriptionofotherparametershasbecomeahottopic,andthecurrentdomesticmeasurementparametersforeachlaser,Althoughalreadydevelopedacompletesuiteofmeasurementsystems,butmostlyf

6、orresearchanddevelopment,hasnotyetappearedquicklyandeasilyandcanbewidelyindustrializedlaserbeammeasurementsystem.Today,thelaserbeamqualitymeasurementmethods,measurementspeedandmeasurementaccuracycannotbetakingintoaccount.Inordertotakeintoaccountthepurposeofmeasuringthespeedandaccuracyofpropos

7、eddoubleslitscanningmethod.Becausethismethoddoesnotrequiretheuseofanattenuatorintheopticalpath,reducingthecomplexityofdataanalysis.Selectionofembeddedtechnologytocompletetheentiresystemcontrolanddataprocessing,smallsizeandeasytocarry,canachie