三维集成电路硅通孔容错技术研究

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1、单位代码：１０３巧分类号ＴＮ４０６学号：２０１３１１０９５０密级公开、冬瓜义令义义／ＨｅｆｅｉＵ打ｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏ文ｇｙ硕±学位论文Ｍ乂ＳＴＥＲＤＥＧＲＥＥＴＨＥＳＩＳ论文题Ｈ：Ｓ维集成电路程通孔容错技术研究学位炎別：学历硕±微巧与固邮子学作齐神名：李黄棋胃梁华国教授克成时Ｍ：２０１６年３月电：单位代巧：１０３Ｓ９密级；公开学号：２０１３１１０９５０分类号：ＴＮ４０６冬？化令义考ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌ

2、ｏｙｇｙ硕±学位论文ＭＡＳＴＥＲＩＳＳＥＲＴＡＴＩＯＮ巧Ｄ论文题目：Ｈ维集成电路珪通孔容错技术研究学位类别：学历硕女专业名称：微电子与固体电子学作者姓名：李黄棋导师姓名：梁华国教授：２０１６年３月完成时间合肥工业大学学历硕±学位论文Ｈ维集成电路撞通？Ｌ容错技术研究：奎董湛作者姓名指导教师：梁华国教授专业名務：微电子与固体电子学研巧方向：嵌入式系统综合与测试＿２０１６年３月ＡＤｉｓｓｅｒｔａｔｉｏｎＳｕｂｍｉｔｅｄｆｏｒ化ｅＤｅｇｒｅｅ

3、ｏｆＭａｓｔｅｒＴｈｅＲｅｓｅａｒｃｈｏｎｆａｕｌｔＴｏｌｅｒａｎｃｅｏｆＴＳＶ化ｒＴｈｒｅｅＤｉｍｅｎｓｉｏｎＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔＢｙＬｉＨｕａｎｇｑｉＨｅ技ｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＨｅｆｅｉＰＣｈｉｎＡｎｈｕｉ．Ｒ．ａ，，Ｍａｒｃｈ，２０１６合肥工业大学本论文经答辩委员会全体委员审查，碗认符合合肥工业大学专业硕±学位论文质量要求。．答辩委员会签名（工作单位、职称、姓名）？主席；中科院智能所研究员委员；矣弟心

4、合ｆ腮工业大学教授３合肥工业大学教授砰合肥工业大学副教授＾合肥工业大学副研巧员导师学位论文独劍性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行独立研究工作所取得的成果。据我所知，论文中不包含，除了文中特别加Ｗ标注和致谢的内容外其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含话获得合肥工业大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。对本文成果傲出贡献的个人和集体，。本人已在论文中作了明确的说明，并表示谢意。学位论文中表达的观点纯属作者本人观点，与合肥工业大学无关＞：曰学位论文作者签名；签名曰

5、期抑备年＾月户／学位论文版权使用授权书本学仿论义作者完全了解合肥工业大学有关保留、使用学位论文的规定，即：除保密巧内的渉密学位论文外，学校有权保存并向国家有关部口或机构。本人授送交论文的复印件和电子光盘，允许论文被査闽或借闽权合肥工业大学可Ｗ将本学位论丈的全部或部分巧容编入有关数据库，允许采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后适用本授权书）：学位论文作者签名．指导教师签名签名日期：：户年巧签名日期年月日／＾论文作者毕业去向工作单位：－ｍａ联系电话；Ｅｉｌ：通讯地址

6、：邮政编码：致谢一段落时光总是在不经意间流逝，三年的研究生科研和学习生活即将告，人生又要踏上新的旅程。回想这Ｈ年的生活，认识了学识渊博的老师，沉稳的师兄，真也的朋友，因为有他们的关也和帮助，我才能顺利完成学业。特在毕业论文完成之。际，向他们表示由衷的感谢感谢我的导师梁华国教授，梁老师学术严谨，做事认真，待人和萬，是我人生一中学习的好榜样。在学术上，梁老师对待科研丝不苟，有着强烈的学术激情和为学术献身的精神，在我对人和对事的态度上有着很大的积极影响。在论文写作上，。在做事上梁老师给予了我高贵的建议并对我论文结构进行

7、了优化，梁老师更是坚，严把质量关的原则。Ｈ年跟随梁老师的学习让我受益良多。在此持精益求精，向梁老师表示最崇高的敬意和由衷的感谢。一鸣感谢易茂祥、欧阳、许达文、黄正峰、王伟、陈田、徐晓琳等老师给予我无私地指导和生活上的帮助、罔爱斌、徐秀敏博±在学术上宝贵的建议；感谢常郝和学习上优秀的模范作用；感谢张鹰、王志、李军、谭龙生、吴悠然师兄对我学习生活上的无私的关必；感谢刘永、王存、戴杨阳、袁德冉、钱栋良、倪涛、马婷婷一同学，，，在学习和生活中与你们起进步共同努力让我成长了很多，兰年的生活因为有你们而更加的精彩；感谢范磊、付俊超

8、、王世超、郑旭光、黄安全、巧必君等师弟巧学习和生活上给予的帮助。在此，祝大家在Ｗ后的生活中身体健康，事业