欢迎来到天天文库
浏览记录
ID:34935911
大小:28.72 MB
页数:94页
时间:2019-03-14
《宽带脉冲压缩光栅的制作与刻蚀特性研究》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、m幸留許違若若大赛1UniversityofScienceandTechnologyofChina博±学位论文戀竟带脉冲屋缩光栅的制作目与刻蚀特牲研完毕拉力作者姓名同步^*用^义应学科专业付绍罕教授.导师姓名二C—A年十月完成时间中頌种《技禾夫緣博±学位论文#宽带脉冲压缩光栅的制作与刻蚀特性研究作者姓名:毕拉为学科专业:同步福射及应用导师姓名:付绍军教授—完成时间:二〇五年十月*本论文具体指导导师是邱克强副研究员Universi
2、tofScienceandTechnologyofChinay’Adrlationfo「doctorsdereeisseg.磯’響FabricationandInvestigationofEtchinProcessofgBroadbandPulseCompressionGratinsg’All出orsName:BilaliMuhutiianjgSecialit:SnchrotronRadiatio打andapplicationpyySupervisor:Prof.Sh
3、aoimFujFinishedtime:October2015,?中国科学技术大学学位论文原创性声明本人声明所呈交的学位论文,是本人在导师指导下进行研究工作所取得的成果。除己特别加W标注和致谢的地方外,论文中不包含任何他人已经发表或一撰写过的研究成果。与我同工作的同志对本研巧所做的贡献均己在论文中作了明确的说明。作者签名:巧娘方签字日期:A么中国科学技术大学学位论文授权使用声明作为申请学位的条件之一,学位论文著作权拥有者授权中国科学技术大学‘目拥有学位论文的部分使用权;日:学校有权按有关规定向国家有
4、关部口或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅,可W将学位论文编入《中国学位论文全文数据库》等有关数据库进行检索,可W采用影印、缩印或扫描等复制手段保存。本人提交的电子文档的内容和纸质论文的内、汇编学位论文容相一致。保密的学位论文在解密后也遵守此规定。d公开□保密(年).^作者签名:皆批^导师签名:i.li’、、签字日期:如心:wsf签字日期中摘要摘要C中的核也元件之一大口径脉冲压缩光栅(P巧是大型脉冲压缩系统,现有PCG包括:银金光栅,多层介质膜光栅和金属介质膜光栅。课题的主要目的是
5、制作宽带脉冲压缩光栅和提高现有多层介质膜光栅的衍射效率。论文内容包括:1.宽带正弦形渡金化冲压缩光栅的制作。鑛金光栅具有制作简单、价格低廉等伉点,,在较大的带宽范围内能实现较高的衍射效率因而在超短超强激光"脉冲压缩系统中得到了重视。为了满足强激光系统的需求,我们采用梯形光"""栅-徐胶-离子束瓣射锻膜TGCD和全息光刻-离子束瓣射馈膜LD()田)2m等两种方法,分别制作了线密度为1740线/mm,槽深为10n左右的宽带锥-M偏振-。、自准直入射1nm金正弦光栅测得其T,级平均衍射效率在750850范围大于87%,最高可
6、达90%。实验已证明;通过TGCD和HLD方法比较容。易巧制光栅槽深,去除光刻胶后基底可维续使用该光栅的衍射效率和带宽能满足国内一般宽带被金脉冲压缩光栅的使用要求。上述两种方法考虑到了大K寸锻金光栅对糟深均匀性的要求,因此对W后制作大尺寸饌金光栅有很好的参考价值。2.宽带正弦顶彼金光栅制作工艺研巧。主要研究了使用于高功率脉冲压缩系统的正弦顶高衍射效率宽带镇金光栅的制作工艺。这种光栅和普通的锻金脉冲压缩光栅不同,它是在刻蚀成正弦顶形状的石英基底上直接锻金来制作的,一-而普通彼金光栅都有层光刻胶层。制作中通过控制胶厚、曝光显影化
7、及氧气刻蚀等过程来优化光刻胶光栅掩模的槽深和占宽比。利用W上方法成功制作出°了线密度为1740线/tmn的高衍射效率、正弦顶、宽带锻金光栅。入射角为53、TM偏振--1850nm范围为89.2%90%。,级平均衍射效率在750,最高值为3.宽带金属介质膜光栅刻蚀工艺研究。金属介质膜脉冲压缩光栅是最近制一作出来的种新型光栅,。金属介质膜光栅制作难度高现在还处于实验室探索阶既所W对其制备和刻蚀技术的探索与研巧很有必要。一金属介质膜光栅刻蚀工艺主要包括:①光刻胶光栅掩模的定性判断与进步调整I,②离子束刻蚀中的图形转移。为了降低光
8、亥脈掩模的加工难度我们选用CHF3作为工作气体。通过大量的实验
此文档下载收益归作者所有