基于谐振模式的三维纳米测头触发方法研究

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3、式的Ｈ维纳米测头触发方法研究：化器科学与技术学辭专业余惠娟作者姓名：导师姓名：黄强先教授２０１５年０４月完成巧间：单位代巧：１０３５９：公开密级３０学号：０９１１０１０１００分类号：ＴＨ８９博±学位论文基于谐振模式的Ｓ维纳米测头触发方法研究ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎｔｈｅＴｒｉｇｇｅｒＭｅｃｈａｎｉｓｍｏｆａ３ＤＲｅｓｏｎａｎｔＮａｎｏＰｒｏｂｅ作者姓名：余惠娟导师姓名：黄强先教授申请学位：工学博±培养单位：合肥工业大学学科专业：猜密仪器及机械研究方向：精密测试技术及化器提交日期：

4、２０１５年０６月：２０１５年０６月答辩日期答辩委员会主席：冯志华教授评阅人：匿名匿名匿名２０１５年０４月合肥工业大学博±学位论文基于谐振模式的Ｈ维纳米测头触发方法研究：余惠娟作者獲名申请学位：工学博壬研巧方向：精密测试技术及仪器学科专业：化器科学与技术；黄强先教援指导教师２０１５年０４月ＡＤｉｓｓｅｒｔａｔｉｏｎＳｕｂｍｉｔｔｅｄｔｏＨｅ＆ｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｉｎａｃｃｏｒｄｍａｎｃｅｗｉｔｈｔｈｅｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｆｏｒｔｈｅＤ

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6、专家名单匿名教授、博导匿名教授、博导匿名教授、博导答辩委员会名单主席：冯志华中国科技大学教授、博导委员：刘晓军华中科技大学教授、博导余晓芬合肥工业大学教授、博导陈晓怀合肥工业大学教授、博导蘭鹏浩合肥工业大学教授、博导合肥工业大学■本论文遂答辩委员会全体委员审查，确认符合合赃工业大学博±学位论文质量要求。答辩委员会签名（工作单位、职称、姓名）主席；中国科技大学，教授，委员；华中科技大学，教授，＾’合肥工业大学，教授，合肥工业大学，教授，和）合肥工业大学，教授，方酣！处导师：合肥王业大学，教授，

7、学位论文独创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行独立研究工作所取得的成果。据我所知，除了文中特别加Ｗ标注和致谢的内容外，论文中不包含其他人己经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得合肥工业大学或其佈，教育机构的学位或证书而使用过的材料。对本文成果做出贡献的个人和集体，本。人已在论文中作了明确的说明，并表示谢意。学位论文中表达的观点纯属作者本人观点，与合肥工业大