真空环境下静压气体轴承性能检测装置设计

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4、edtoChinaJiliangUniversityInpartialfulfillmentoftherequirementforthedegreeofMasterofEngineeringChinaJiliangUniversityJune,2015中图分类号TP133.5学校代码10356UDC621密级公开硕士学位论文MASTERDISSERTATION真空环境下静压气体轴承性能检测装置设计DesignofthePerformanceTestingDeviceforAerostaticBearingUsedinVacuumCondit

5、ion作者赵静一导师李运堂教授申请学位工学硕士培养单位中国计量学院学科专业控制理论与控制工程研究方向静压气体轴承性能分析二〇一五年六月致谢时光荏苒，三年的研究生学习生涯即将结束，在此谨向所有曾指导、帮助、关心、支持我的老师、同学、朋友和亲人表示由衷的感谢。首先，感谢我的导师李运堂教授。在我研究生学习期间，李老师对于我的学习和课题给予了悉心指导和大力帮助，在学习上，李老师注重学有所用，注重学习和实践的结合，注重培养学生的逻辑思维能力，他严谨细致、一丝不苟的治学态度深深地影响着我；在课题研究方面，从课题的选择、课题的开展到最终论文的撰写和修改，

6、李老师都严格要求、耐心指导、全力支持和帮助。同时在日常生活中，李老师为人随和、从容细致，他面对问题的态度、处理问题的方法，在潜移默化中影响着我们，使我受益颇多，自身能力得到了提高。在此，我向李老师致以深深的谢意。其次，感谢实验室的兄弟姐妹们。感谢师兄蔺应晓、师姐朱红霞、同窗贾宇宁和赵倩、以及师弟梁宏民、吴进田、马亮，感谢他们对我生活和学习的帮助。同时还要感谢北京时代帕纳真空科技有限公司秦工和宋经理在真空排气系统和真空室设计方面给出的建议。同时，感谢母校中国计量学院。学校为平时的学习生活提供了良好的条件设施，营造了积极向上的学习氛围。再次，感

7、谢我的家人和朋友。他们全心全意的支持、关怀和陪伴是我全心投入学习的源泉和动力。最后，感谢评阅我论文的各位专家学者，感谢他们给我提出的宝贵建议，使我受益匪浅。赵静一2015年6月真空环境下静压气体轴承性能检测装置设计摘要：静压气体轴承因具有摩擦小、精度高、热稳定性好、寿命长等优点而广泛应用于微电子制造装备、超精密数控机床、三坐标测量机、精密转台等制造、测量和检测领域。但极紫外曝光、电子束曝光、薄膜测厚和线宽测量等制造和测量操作，不仅要求测量装备具有极高的运动定位精度，而且必须在真空或超洁净环境中进行操作。但真空中静压气体轴承性能变化显著，更需

8、要关注的是所排放的润滑气体将会污染真空环境，而现有常规环境下静压气体轴承的性能检测装置无法满足真空环境下静压气体轴承性能检测实验的需要。为此，本文设计了真空环境下静压气体轴承的性