球面元件表面疵病自动化检测若干关键技术探索研究

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1、Ｈ分类号：Ｔ７４１１０３３日单位代码：密级：学号：２１２３００４４如，本＞邊硕±学位论文戀中文论文题目：碳面元件表面疵病白动化检测若千关键技未探索巧究英文论文题目：Ｒｅｓｅａｒｃｈｏｎｋｅｙｉｓｓｕｅｓｉｎｔｈｅａｕｔｏｍａｔ：ｅｄｄｅｆｅｃｔｓｄｅｔｅｃｔｉｏｎｏｆｓｐｈｅｒｅｓｕｒｆａｃｅ申请人姓名：李雜指导教师：杨南英合作导师：刘东专业名称：光学工程研究方向：光学精密檐测所在学院：信怠学院

2、论文提交日期二零一五年一月辣面元体袭面疵病自动化检须！ｌ若千关键技未探索研究论文作者签名：采腺指导教师签名：如克艮论文评阅人１：身始＾取评阅人么糸＼蘇评阅人３；评阅人４；评阅人５；答辩委员会主席：．．．Ｈ换知委员１：撫解委员２：舉委员３：巧命琼委员４；爱浪＇委员５：答辩日期－３．）〇：Ｗ浙江大学研究生学位论文独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的硏巧工作及取得的研

3、巧成果。除了文中特别加标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人己经发表或撰写过的研究成一果。与我，也不包含为获得浙江大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。＇学位论文作者签名：签字曰期；知／Ｓ年寺月／ｒ日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解浙江大学有权保留并向国家有关部口或机构送交本论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权浙江大学可将学位论文的、全部或部分内容编入有关数据库进行

4、检索和传播，可Ｗ采用影印缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后适用本授权书）学位论文作者签名：导师签名：＂５签字日期：月Ｔ日签字日期：节）年？月Ｕ日年ｖ｜（如ｉｒ＾致谢随着学位论文的完成，我也即将告别校园，走向新的人生征途。回首往昔，充满感思，一我必须要向在求学路上给过我帮助的人们道声真诚的感谢。首先，我要感谢我敬爱的导师、我的人生楷模杨雨英教授，感谢您带我走进光学捡测一这神奇的领域、。，在过去的近王年时间里，给予了我科研学习、生活各

5、方面的悉冶指导二您学识渊博、治学严谨、精益求精、勇于捷战，，Ｗ十分的热情对待科研，您的言传身教一向我展示了个优秀科研工作者应有的风采和情怀一。感谢您给予我的每次指导，使我拥一一有前行的方向；感谢您给我的毎次锻炼机会，这是对我莫大的信任；感谢您对我的毎句教诲，学生谨记在々。千言万语道不尽恩师情重，谢谢您，杨老师。感谢刘东副教授在科研与生活上给予我的指导，您对于论文撰写的精雕细琢、面对困难的豁达无畏，对于人生规划的无私分享，都将使我受用终生。感谢沈亦兵教授在自动准直方面给我的帮助与指

6、导。感谢中国工程物理研究院的陈波、刘化、姜宏振老师为课题提化的建设性意见。感谢现代光学仪器国家重点实验窒对本项目的资助。还要感谢王世通师兄、曹频师兄、陈晓链师姐、张磊师兄、凌运师兄、田超师兄、韦涛师兄、邵卫红师姐、孙磊师兄、严路、师途、成中涛、李阳、张毅巧Ｗ及３０８全体同学们一，近王年时间里，我们朝夕相处、情同家、相互帮助、相互学习、共同实验，共同进步，实骚室学习氛围浓厚，人际关系温馨，科研环境轻松偷悦，使我能够效取力量，专瓜一科研。感谢我的室友和所有的小伙伴们，是你们带给我无限

7、的欢乐，陪我同成长。最后，感谢我的父亲李友仁先生和母亲张晓芹女壬，无论外面的世界如倚风疾巧骤，家永远是我最溫暖的潜湾。父爱如山，巍峨厚重，母爱如水，静水流深。生养之恩，无Ｗ为报唯有为自邑和父母追求一个更美巧的未来。，李雜２０１５年１月于求是园王摘要表面疵病检测由于疵病分布的随机性，ｗ及对于大视场、高分辨率、快速检测的要求，具有极高的难度，使得其成为制约表面检测的主要因素。本文在平面元件表面疵病检测系一证了统的基础上些探索，并通过仿真与实验验，进行了球面元件表面

8、疵病自动化检测的方案的可行性、待测元件表面灰尘麻。主要研究了在高精度检测中球面元件自动对准定中。点自动分类两项关键技术，为球面元件表面疵病拾测系统的研制提出了技术基础一，提出了种实现琼面元件表面疵病自动化检测的系统构想，包括系统组成与工作流程简要介绍了自动对准、暗场照明及显微成像、多轴联动、疵病评价软件等几大模块。一建立了套用于球面元件表面疵病检测的巧面自动对准系统。该系统基于反射式定中、待测球面的琼记位置。通过实验的方