深紫外宽光谱成像椭偏仪的研制

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1、１０３５９单位代码：０４３６．３分类号：２０１２１．１００２９公开学号；密级冬化义令义义－ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｙｇｙＩ硕ｉ学位论文ＭＡＳＴＥＲＤＥＧＲＥＥＴＨＥＳＩＳ论文题目：深紫外竞光谱成像楠偏仪的研制学历硕±学化巧別：测试计量技术及仪器工巧领域）（姜春光化巧姓《：巧帅别；名：纪峰副教授湛雅琴副研究员宛化时２０１５年３月ＩＷ：Ｉｍ；‘．ＪｌｉＷｆｌＢｉｉｉｔｔｔｒｔｉ扁自：ｉ；川驗连ＰＷｌｉ单位代码：１〇担２密级：公开

2、学号：２Ｑ１２Ｕ００２９分类号：０４３６．３Ｈｅ化ｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ硕±学位论文ＭＡ，ＳＴＥＲＳＤＩＳＳＥＲＴＡＴＩＯＮ论文题目：深紫外宽光谱成像楠偏化的研制学位类别：学历硕±专业名称：测试计量技术及仪器作者姓名：姜春光导师姓名：纪峰副教授湛雅琴副研究员２０１５年３月完成时间：合肥工业大学学历硕±学位论文深紫外宽光谱成像備偏仪的研制：姜春光作者姓名指导教师；纪峰副教授谋雅琴副研究员学科专业：测试计量技术及仪器研究方向

3、：精密测试巧术及化器’２０１５年３月ＡＤｉｓｓｅｒｔａｔｉｏｎＳｕｂｍｉｔｔｅｄｆｂｒｔｈｅＤｅｇｒｅｅｏｆＭａｓｔｅｒＲｅｓｅａｒｃｈｏｆＤＵＶＢｒｏａｄｂａｎｄＳｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｉｃＩｍａｇｉｎｇＥｌｌｉｓｏｍｅｔｅｒｐＢｙＪｉａｎＣｈｕｎｕａｎｇｇｇＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｙｇｙＨｅｆｅｉＡｎｈｕｉＲ艮．Ｃｈｉｎａ，，Ｍａｒｃｈ２０１５，合肥工业大学本论文经答辩委员会全体委员审査，确认符合合服工业大学学历硕ｉ学位论文质量要求

4、。答辩委员会签名（工作单位、职称、姓名）主席；合肥工业大学教授啼之委员；合肥工业大学教授寺棘蘇＇安徽理工大学教授Ｉ知疹合肥工业大学副教授导师：合肥工业大学，副教授，学位论文独剑性齊明本人郑重声明：所呈交的学位始文是本人在导师指导下进行独立研巧工作所，取得的成果。据我所知，除了文中蒋别加Ｗ标注和致谢的内容妹论文中不包含其他人已经发衰或撰写过的研巧成果，也不包含为获得合肥工业大学或其他教育化构的学位或证书而使用过的材料。对本文成果做出贡献的个人和集体，本人已在论文中作了明确的说明。，并褒示谢煮。

5、学位论文中表达的观点纯属作者本人观点，与合肥工业大学无关＇＊学位论文作者签名：１签名曰期：八曰姜４１（年４月叫学位论女版披使用授极书太學仿论专化者定全了解合肥工业大学有关保留、使用学位论文的规定，即：除保密期内的涉密学位论文外，学校有权保巧并向国家有关部口或机构送交。论文的复印件和电子光盘，化许论义被査阅或借阅本人授权合胞工业大学可蒋本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库，光许采用影印、縮印或扫描等复制手段保存、汇编学位絶文。（保密的学位论文在解密后适用本授权书）：学位论文作者签名：指导教师签名签名日期：么

6、作年斗月２巧签名日期若〇氏年ｉｉ年ｐ论文巧者毕业去向工作单位：－ｍａ联系电话ｉｌ：：Ｅ通巧地址；邮政编码：致谢本论文的顺利完成，与很多人的帮助是密不可分的。首先我要特别地感谢我的导师纪峰老师的耐也指导Ｗ及李保生老师的推荐指导一，感谢能有个来中。科院微电子所学习的机会，让，工作严谨我受益颇多纪峰老师学识渊博，在课题的进展中给我提出了很多宝贵的意见一。也十分感谢他在学习和工作上直Ｗ来对我的支持和鼓励。真诚地感谢中科院微电子所的谱雅琴老师，湛雅琴老师渊博的知识，严谨的治学态度，高度的责任感给我留下了

7、很深的印象，感谢她在我学习和工作上不遗余力的指导，在生活上对我的关也和照顾。同时，也特别感谢中科院微电子所的刘涛老师在学习和工作上对我的悉也指导和照顾，感谢中科院微电子所的熊伟老师在软件编写方面给予的支持和帮助。感谢中国科学微电子所的严冬、王天民、王林梓和北京智朗芯光有限公司的郭青扬一、杨楠、王林梓、李等所有同学和同事在工作和学习上对我的大力支持和帮助，感谢北京软件学院的李泉和长春理工大学的佟健在学术方面与我的探讨和帮助，感谢我的师兄崔高増、张强、宋国志在学习上对我的点播和肩一个良好的科研发，正是你们为我创造了、学

8、习和生活环境，也给我带来了欢声笑语。在此，也要特剤感谢我的室友王力在我北京期间关于本人校内事务的处理和帮助。感谢我的父母对我