大口径快速抛光机设计与相关问题研究

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1、~~~----ZhongyuanUniversityofTechnology~±~1JL~jcMASTER'SDISSERTATION*o~~~~*m~~~ffi*~m~~~t4f1~:I~----------~~--------------~~~~:m~~rim--------~~~~~----------~yrp~~..lm~:_____.....~__!J!tliiioiolff........~--~-------------2015~6Jj授予单位代码10465学号或申请号密级中原工学院硕士学位论文大口径快速抛光机设计与相关问题研究王文博指导教师

2、：赵则祥教授申请学位级别：硕士专业名称：机械电子工程论文提交日期：2015年3月论文答辩日期：2015年6月培养单位:中原工学院学位授予单位:中原工学院Ji:l)jjiI~~jt~ilL.i~j{~'@IJ·1·1IE"a~*A~~~~:m~~~~~~x.~~~A~~~m~~~rr~~~I~~--~~~~-o~X~~7Mm~~5~~-W~-~*·~ft*ff~~~~A~~~B~0H~~~-~M~~~~~o~~~~M*~~~~~$~~~~~~B~~x~~7~~~~~*~~7w•a*A~~~x~-~~fl~~.~g*m-~~~~~~~ffo~«r~xfP~~~

3、:£Afr/20/~~6_ij/08~l*I~~jt~ill.i~j{~lli.R"?-*~IE"a~*A~~7M~~I~~fl~~~~m~-~-~.~:~~~~~~-~~MOO~XIfP~~m~••-m:•~~-I~Ro.~fl-~M#~m•~~•n~fi~~~~x~•~~~~~•a*Aft~~x••oo~~~o~~%~~*~~~x~~w~m~~~~A~~~~$~tr~~'~~*ffl~~~-~~~~~·~¥~~#~~~*~&~Xo~{f;~x~M~J&~m*Pfl!ij0~-m:~xfP::i"~~;1-.ttf20/~*-6J3foB大口径快速抛光机

4、设计与相关问题研究专业：机械电子工程硕士生：王文博指导教师：赵则祥教授摘要大口径平面光学元件在空间光学、航空航天、激光聚变等诸多高技术领域的需求数量越来越多，大口径平面光学元件的超精密加工技术已成为当代科技前沿的关键支撑技术之一。本文针对大口径平面光学元件的高效、高精抛光需求，对大口径平面光学元件快速抛光机进行了研制。快速抛光技术正处于发展之中，属于新型抛光技术之一，该项技术的成熟发展，将为高档光学、精密机械提供一种新的高效、高精度、低成本的数字化加工技术手段。本文在分析光学玻璃的抛光机理、抛光工艺关键因素以及聚氨酯抛光特点的基础上，建立了平面元件的抛光模

5、型；分析了光学薄板元件的装夹特点，对光学薄板元件抛光装夹方案进行了设计；根据多区域压力调节原理，提出了一种通过对局部高面形区域进行加压来提高该区域材料去除效率和抛光面形精度的方法。本文研究了三种抛光机布局方案，经过分析论证，采用了立墙式结构，抛光头采用直线往复运动形式。根据机床设计技术指标，对大口径快速抛光机进行了总体设计，对机床零部件进行了优化设计，保证所设计的抛光机具备高的机械精度。本文对快速抛光机的装配过程进行了研究，设置了关键控制点，阐述了机床精度的检测方法，并进行了相关工艺试验，试验结果表明，所研制的大口径快速抛光机具有较高的去除效率和良好的面形

6、控制能力，达到了设计目标。关键词：大口径；快速抛光机；光学元件；装夹技术；机床设计本文得到了国家科技重大专项项目“KDP晶体快速抛光技术与装备研究”（编号：2013ZX04006011-211）的资助。IDesignoflargeaperturerapidpolishingmachineandresearchofitsrelativeissuesSpeciality:MechatronicsEngineeringName:WangWenboSupervisor:ProfessorZhaoZexiangAbstractMoreandmorelargeaper

7、tureplanaropticalcomponentsareneededinthehightechnologyfields,suchasspaceoptics,aerospace,laserfusionandsoon,andtheirmanufacturingtechnologyhasbecomeoneofthekeysupportingtechnologiesintheforefrontofcontemporaryscienceandtechnology.Accordingtothecurrentdemandforhighefficiencyandhig

8、hprecisionpolishingoflargeapertur