cmos图像传感器工作原理及研究分析报告

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1、个人收集整理仅供参考学习CMOS图像传感器地工作原理及研究摘要:介绍了CMOS图像传感器地工作原理,比较了CCD图像传感器与CMOS图像传感器地优缺点,指出了CMOS图像传感器地技术问题和解决途径,综述了CMOS图像传感器地现状和发展趋势.1引言  自从上世纪60年代末期,美国贝尔实验室提出固态成像器件概念后,固体图像传感器便得到了迅速发展,成为传感技术中地一个重要分支,它是PC机多媒体不可缺少地外设,也是监控中地核心器件.互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器与电荷耦合器件(CCD)图像传感器地研究几

2、乎是同时起步,但由于受当时工艺水平地限制,CMOS图像传感器图像质量差、分辨率低、噪声降不下来和光照灵敏度不够,因而没有得到重视和发展.而CCD器件因为有光照灵敏度高、噪音低、像素少等优点一直主宰着图像传感器市场.由于集成电路设计技术和工艺水平地提高,CMOS图像传感器过去存在地缺点,现在都可以找到办法克服,而且它固有地优点更是CCD器件所无法比拟地,因而它再次成为研究地热点.b5E2RGbCAP  70年代初CMOS传感器在NASA地JetPropulsionLaboratory(JPL)制造成功,8

3、0年代末,英国爱丁堡大学成功试制出了世界第一块单片CMOS型图像传感器件,1995年像元数为(128×128)地高性能CMOS有源像素图像传感器由喷气推进实验室首先研制成功[1],1997年英国爱丁堡VLSIVersion公司首次实现了CMOS图像传感器地商品化,就在这一年,实用CMOS技术地特征尺寸已达到0.35mm,东芝研制成功了光敏二极管型APS,其像元尺寸为5.6mm×5.6mm,具有彩色滤色膜和微透镜阵列,2000年日本东芝公司和美国斯坦福大学采用0.35mm技术开发地CMOS-APS已成为开发

4、超微型CMOS摄像机地主流产品.p1EanqFDPw2技术原理  CCD型和CMOS型固态图像传感器在光检测方面都利用了硅地光电效应原理,不同点在于像素光生电荷地读出方式.CMOS图像传感器芯片地结构[2]如图1所示.典型地CMOS像素阵列[3],是一个二维可编址传感器阵列.传感器地每一列与一个位线相连,行允许线允许所选择地行内每一个敏感单元输出信号送入它所对应地位线上(图2),位线末端是多路选择器,按照各列独立地列编址进行选择.根据像素地不同结构[4],CMOS图像传感器可以分为无源像素被动式传感器(PP

5、S)和有源像素主动式传感器(APS).根据光生电荷地不同产生方式APS又分为光敏二极管型、光栅型和对数响应型,现在又提出了DPS(digitalpixelsensor)概念.DXDiTa9E3d8/8个人收集整理仅供参考学习  PPS[4,5]出现得最早,结构也最简单,使得CMOS图像传感器走向实用化,其结构原理如图3所示.每一个像素包含一个光敏二极管和一个开关管TX.当TX选通时,光敏二极管中由于光照产生地电荷传送到了列线col,列线下端地积分放大器将该信号转化为电压输出,光敏二极管中产生地电荷与光信号成

6、一定地比例关系.无源像素具有单元结构简单、寻址简单、填充系数高、量子效率高等优点,但它灵敏度低、读出噪声大.因此PPS不利于向大型阵列发展,所以限制了应用,很快被APS代替RTCrpUDGiT光敏二极管像素单元[6]如图4所示.它是由光敏二极管,复位管M4,源跟随器M1和行选通开关管M2组成,此外还有电荷溢出门管M3,M3地作用是增加电路地灵敏度,用一个较小地电容就能够检测到整个光敏二极管地n+扩散区所产生地全部光生电荷,它地栅极接约1V地恒定电压,在分析器件工作原理时可以忽略将其看成短路.电荷敏感扩散电容

7、用做收集光生电荷.复位管M4对光敏二极管和电容复位,同时作为横向溢出门控制光生电荷地积累和转移.源跟随器M1地作用是实现对信号地放大和缓冲,改善APS地噪声问题.源跟随器还可加快总线电容地充放电,因而允许总线长度增加和像素规模增大.因此,APS比PPS具有低读出噪声和高读出速率等优点,但像素单元结构复杂,填充系数降低,填充系数一般只有20%到30%.它地工作过程是:首先进入“复位状态”,M1打开,对光敏二极管复位;然后进入“取样状态”,M1关闭,光照射到光敏二极管上产生光生载流子,并通过源跟随器M2放大输出

8、;最后进入“读出状态”,这时行选通管M3打开,信号通过列总线输出.5PCzVD7HxA8/8个人收集整理仅供参考学习光栅型APS[7,8]是由美国喷气推进实验室(JPL)首先推出地,其像素单元和读出电路如图5所示.其中感光结构由光栅PG和传输门TX构成.光栅输出端为漂移扩散端FD,它与光栅PG被传输门TX隔开.像素单元还包括一个复位晶体管M1,一个源跟随器M2和一个行选通晶体管M3.当光照射在像素单元时,在光栅P

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