亚表面损伤测量技术中全内反射粗定位系统的研究

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1、分类号密级ｕＤｃ！！＾＾乂杀．禱南《ＮＡＮＪＩＮＧＵＮＷＥＲＳｎｒＯＦＳＣＩＥＮＣＥ＆ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ硕去学位论文亚表面损伤测量技术中全内反射粗定位系统的研究（题名和副题名）朱晓娟（作者姓名）何勇教授学位类别王学硕壬学科名称光学端研究方向精密光学测试理论与技术２０１５．０３１ＤＣ注；注明個际十进分类法Ｕ》的类号．。声明本学位论文是我在导师的指导下取得的研究成果，尽我所知，在本学位论文中，除了加标注和致谢的部分外，不包含其他人己经发表或公布过的研究成果，也

2、不包含我为获得任何教育机构的学位或学历而使用过的材料一。与我同工作的同事对本学位论文做出的贡献均已在论文中作了明确的说明。喊Ｗｆ研究生签名：乎ｉ年巧日学位论文使用授权声明南京理工大学有权保存本学位论文的电子和纸质文塔，可Ｗ借闽或上网公布本学位论文的部分或全部内容，可向有关部口或机构送交并授权其保存、借阅或上网公布本学位论文的部分或全部内容。对于保密论文，按俱密的有关规定和程序处理。研究生签名；卒晚坤年＾月义日７硕±学位论文亚表面损伤测量技术中全内反射粗定位系统的研究摘要＇光学元件的亚表面损伤严重影响着光学系统的抗激

3、光损伤阔值和大型光学系统的成像及渡膜质量、系统的长期稳定性，很大程度上制约了能源、军事、航天等高新技术科研领域的发展一。因此，对光学元件亚表面损伤的控制成为相关领域项至关重要的技术。传统光学对亚表面损伤问题的关注极少，随着入射光源能量的不断提升，尤其在高功率激光领域，亚表面裂纹的控制才能越来越受人们的关注。本文研究了基于光的全内反射原理获得光学元件亚表面损伤信息的一种测量方法。首先分析了照明光源的偏振状态对亚表面损伤点的偶极子散射特性，研究了全内反射角的变化对偶极子散射的影响，讨论了亚表面裂纹情况下，裂纹和Ｓ偏振光之间夹角与相对散射功率么

4、间的关系，通过Ｍａｔｌａｂ软件的仿真模拟出了参量么间的关系。其次通过原理的分析和公式推导得到全一内反射粗定位系统关键部件的设计：是对照明系统光路的设计二、诺马斯基棱镜的设计，确；是对显微成像系统中渥拉斯顿棱镜定了渥拉斯顿棱镜的模角、厚度等参数关系，模掛仿真了诺马斯基棱镜光轴倾角、模角、厚度、相干平面出离量等参数之间的关系。最后装调实验装置并观察样品的表面及亚表面状况。关键词！亚表面损伤，全内反射，偶极子散射，偏振态，照明系统ＩＡｂｓｔｒａｃｔ硕ｄ：学位论文ＡｂｓｔｒａｃｔＴｈｅｅｘｉｓｔｅｎｃｅｏｆｓｕｂｓｕｒｆａｃｅ

5、ｄａｍａｇｅｉｎｃｒｅａｓｅｓｔｈｅｍａｔｅｒｉａｌｒｅｍｏｖａｌｏｆｔｈｅｏｐｔｉｃａｌｎｄ－ｍａｅｃｏｍｏｎｅｎｔｓａ出ｒｅｃｔｌｒｅｄｕｃｅｓｉｔｓｓｅｒｖｉｃｅｌｉｆｅｌｏｎｔｅｒｍｓｔａｂｉｌｉｔｃｏａｔｉｎｕａｌｉｔｉｐ，ｙｙ，ｙ，ｇ，ｇｇｑｑｕａｌｉｔｙａｎｄｌａｓｅｒｄａｍａｅｔｈｒｅｓｈｏｌｄａｎｄｏｔｉｉｅｒｉｍｏｒｔａｎｔｅｒｆｏｍａｎｃｅ．Ｔｈｅｄｅｖｅｌｏｍｅｎｔｏｆｇｐｐｐ＊＊ｈｅｅｎｅｉｌｉｔａｒａｅｒｏｓａｃｅａｎｄｏｈｅｒａｄｖａｎｃｅｄｅｓｅａｒｃｈｆｉｔ．ｔ

6、ｒｍｔｉｉｅｌｄｓａｒｅｌａｒｅｌｉｅｓｒｉｃｔｅｄｇｙ，ｙ，ｐｇｙＴｈｅｒｅｆｏｒｅ，ｔｈｅｃｏｎｔｒｏｌｏｆｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｄａｍａｇｅｆｏｒｔｈｅｏｐｔｉｃａｌｅｌｅｍｅｎｔｈａｓｂｅｃｏｍｅ过ｃｒｕｃｉａｌ化ｃｈｎｏｌｏｇｙｉｎｒｅｌａｔｅｄ巧ｅｌｄｓ．Ｗｉｔｈｔｈｅｉｍｒｏｖｉｎｏｆｔｈｅｅｎｅｒｅｏｌｅａｉｎｃｒｅａｓｉｎｌｐｇｇｙ，ｐｐｐｙｇｙａｅｎｔｉｏｎｈｅ－ｔ化ｔｃｏｎｔｒｏｌｏｆｓｕｂｓｕｒｆａｃｅｃｒａｃｋｅｓｅｃｉａｌｌｉｎｔｈｅｆｉｅｌｄｏｆｈｉｇ

7、ｈｐｏｗｅｒｌａｓｅｒ．ｐｙＦｉｒｓｔｌｙ，ｉｔｉｓａｗｏｒｋｔｈａｔｗｈｉｃｈｃａｎｏｂｔａｉｎａｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｍｅｔｈｏｄｆｏｒｔｈｅｓｕｂｓｕｒｆａｃｅｄａｍａｇｅｏｆｏｐｔｉｃａｌｅｌｅｍｅｎｔｓｂａｓｅ过ｏｎｔｈｅｔｏｔａｌｉｎｔｅｒｎａｌｒｅｆｌｅｃｔｉｏ打ａｎｄｔｈｅｐｒｉｎｃｉｐｌｅｏｆｐｏｌａｒｉｚｅｄｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ．Ｉｔａｎａｌｙｚｅｓｔｈｅｅｆｆｅｃｔｓｏｆｔｈｅｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎｓｔａｔｅａｎｄｔｈｅｉｎｃｉ