釆用氮氢混合气源的等离子体源渗氮aisi 304奥氏体不锈钢工艺研究

釆用氮氢混合气源的等离子体源渗氮aisi 304奥氏体不锈钢工艺研究

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1、犬搜-大學DALIANUNIVERSITYOFTECHNOLOGYfiSS士室位文MASTERALDISSERTATION"-I5Ig釆用氮氢混合气源的等离子体源渗氣AISI304奥氏体不诱钢工艺研究、/材料加工工程丨1学科专__作者姓名5_^指导教师a?IL_M__g.2015年6月9日答辩日朋硕士学位论文采用氮氢混合气源的等离子体源渗氮AISI304奧氏体不诱钢工艺研究tso-PSudOnProcesfN2H2MixedlasmaSourceNitri

2、dinAISIyg304AusteniticStainlessSteel作者姓名:王鑫学科、专业:材料加工工程学号:21205025指导教师:雷明凯教授:2015年5月完成日期丈遠理工大含DalianUniversityofTechnology大连理工大学学位论文独创性声明作者郑重声明:所呈交的学位论文本人在导师的指导下进行研究,是工作所取得的成果。尽我所知,除文中已经注明引用内容和致谢的地方外,本论文不包含其他个人或集体已经发表的研究成果,也不包含其他已申请学位或其他用途使用

3、过的成果一。与我同工作的同志对本研究所做的贡献均已在论文中做了明病的说明并表示了谢意。若有不实之处本人愿意承担相关法律责任。,'学位论文题目:奋盖‘每ii-暮各命;4爽舰办k作者签名:日期:上。Al:年Z月7曰[森.大连虹大学硕士学位论文摘要采用氣氧混合气作为渗氮气源,在低电压下对AISI304奥氏体不锈钢进行等离子体源渗氮处理,获得良好的渗氮效果。利用光学显微镜、电子探针显微分析仪、X射线衍射仪、表面轮廓仪、显微维氏硬度计、电化学工作站等设备,系统分析等离子体源渗氣AISI304奥氏体不锈钢的成分、结构及组织性

4、能,研宄了渗氮气体氮氢比、渗氮气压以及试样偏压和距屏高度对渗氮层金相组织-、氮浓度深度分布、相结构、表面粗糖度、显微硬度-深度分布、抗孔烛行为的影响,定性总结出上述工艺条件对渗氮层组织性能影响的一般规律。300Ph-a:115气压,悬浮电位100,,3:,,距屏mm渗氮6氮氧比条件下所得渗気层均由YN相组成:39.81111,,氮氧比1条件下渗氮效果最好,渗氣层厚度^氮峰值浓度16.5wt.%,表面粗糙度0.124表面显微硬度10.4GPa。氣氢比大于1:3时,渗氮效果会随氮气分压的增加而变差;氦氧比小于1:3时,渗氮效果

5、随氧气分压的增加而变差。-1:36h220500Pa,氣氢比,悬浮电位,距屏100mm,渗氮,气压条件下所得渗氣层均由yN相组成,气压300Pa时渗氮效果最好。 ̄-气压300Pa,氮氢比1:3,距屏100mm,渗氮6h条件下,试样上施加0400V-20负偏压,所得渗氣层均由YN相组成,负偏压0V时渗氮效果最好,渗氮层厚度10.9xm,f表面显微硬度llJGPa。试样施加负偏压后,所得渗氮层,试样表面得到了清洗和活化厚度增加,硬度提高,抗烛性能改善。-300Pa-1i50250mm气压,氮氢比1:3,200V负偏压,

6、渗氣6条件下,距屏高度,所得渗氮层均由Yn相组成,距屏100mm处试样渗氮效果最好,试样距屏50mm时,渗氛层较厚但疏松,显微硬度低,抗烛性能差。关键词:效氛比负偏压距屏高度等离子体源渗海AISI304奥氏渗贫气压;;;;;体不绣钢--I采用氮氢混合气源的等离子体源渗氮AISI304奥氏体不绣钢工艺研究turocessof-smarceAISSdyOnPNHMixedPlaSouNitridinI30422gAusteniticStainlessSteelAbstractTheAISI3

7、04austenitestainlesswasmodifiedbytheplasmasourcenitridingtechnique-underlowvoltaeswithNHmixtureandaoodeffectofnitridinwasachieved.Theg22,ggmodifiedsameswerecaacteizetcalmetalluricalmicroscoeelectronrobeplhrrdbyopigp,p-X--microanalzer.radiffract

8、ometer,surf

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