白光干涉术的测量系统与处理算法的研究

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3、工作的同志对本研究所做的任何责献均邑在论文中作了明确的说明并表示了谢意。学位论文作者签名：签字日期；＾！＞＇年）月Ｂ学位论文版权使用授极书本学位论文作者完全了解中菌计量学臨有关保留、使用学位论文的规定。特授权中国巧畳学院可Ｗ将学位论文的全部或部分内容编入有关数＇汇据库进行检索，并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、编ｙｊｉ洪查阅和错阅。同意学校向国家有关部口或化梅送交论文的复印件和磁盘。（保密的学位论文在解密后适用本授权说明）学位论文作者签名；导师签名■’＇签字曰期：年）月０曰签字曰期；年）月５目

4、WhiteLightInterferometryMeasurementSystemandAlgorithmByLinjuanDengADissertationSubmittedtoChinaJiliangUniversityInpartialfulfillmentoftherequirementForthedegreeofMasterofEngineeringChinaJiliangUniversityMarch,2015中图分类号TH711学校代码10356UDC621密级公开硕士学位论文MASTERDISSERTATION白光干涉

5、术的测量系统与处理算法的研究WhiteLightInterferometryMeasurementSystemandAlgorithm作者邓林涓专业领域仪器仪表工程校内导师李东升教授校外导师李源高工申请学位工学硕士论文类型应用研究二〇一五年三月致谢感谢我的导师李源高工，他严谨治学、实干派的作风鼓舞着我，他积极向上、乐观的态度影响着我，让我在轻松愉悦的环境下，学习到具有创新性的做事方法和乐观的生活态度，在整个课题完成的过程中给予了我指导和帮助，让我受益匪浅，在此表示诚挚的谢意！感谢我的校内导师李东升教授，不仅在学术上教育我前进的方向和分析科

6、研的能力，同时也不断教导我如何做人做事，整个研究生期间在生活上和学习上均给予了我莫大的指导和关心，在此致上我最衷心地感谢！在上海计量院实习期间，非常感谢傅云霞教授在工作和课题上给予我很大的帮助和指导，感谢孙薇斌处长对于我工作和学习上支持与帮助。特别感谢陈欣老师，他认真负责的工作态度、严谨求真的科研精神值得我一直努力学习，是我科研和工作的榜样。在论文研究和撰写过程中，首先感谢雷李华师兄在科研和实践性工作上给予了我很大的帮助和指导，不仅使我提高了科研和动手的能力，还锻炼了我工作的能力，同时也得到了蔡潇雨师姐、吴俊杰师兄、翁浚靖硕士、简黎师妹、

7、王梅宝硕士和许鹏硕士的建议和帮助，在此向他们表示感谢！最后，我要感谢我的爸爸妈妈，感谢他们一直以来对于我的理解和支持，对我学业、工作的关心和身体的照顾，感谢他们无私的付出和支持。感谢那些没有提及姓名但也同样给予我帮助的老师、同学和朋友们。本文得到国家重大仪器专项“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用（编号：2014YQ090709）”、上海市科委纳米专项基金资助项目“跨尺度工艺集成纳米平面尺寸标准样板的制备及溯源表征技术研究（编号：11nm0506800）”和上海市质量技术监督局科研项目“跨尺度微纳米测量机的研究（编号：2013QK129）”的

8、资助，在此表示感谢。邓林涓2015年3月白光干涉术的测量系统与处理算法的研究摘要：超精密加工与半导体产业的快速发展对微纳米测量技术也提出了更高的要求。传统的接触式测头测量效率较低，对越来越复杂