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时间:2019-03-13
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1、学号:S13020156硕士学位论文恒星模拟器成像系统关键部件的研制研究生姓名:S13020156学科、专业:光学工程二〇一五年十二月分类号:O484密级:可公开UDC:535.8编号:恒星模拟器成像系统关键部件的研制DESIGNANDFABRICATIONOFTHEKEYCOMPONENTINSTELLALSIMULATORIMAGINGSYSTEM学位授予单位及代码:长春理工大学(10186)学科专业名称及代码:光学工程(080300)研究方向:现代光学技术及工程应用申请学位级别:硕士指导教师:付秀华教授研究生:王爽论文起止时间:2014.11—2015.12长春理工大学硕士学位论文原创性
2、声明本人郑重声明:所呈交的硕士学位论文,《恒星模拟器成像系统关键部件的研制》是本人在指导教师的指导下,独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名:年月日长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”,同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和CNKI系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子
3、版,允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。作者签名:年月日导师签名:年月日摘要为了满足恒星模拟器成像系统的要求,针对系统中的关键部件,本文以Preston原理为基础,对非球面H-FK61光学玻璃元件的加工工艺进行了研究。通过对研抛过程中各项工艺参数的分析,经过反复实验优化,解决了H-FK61光学玻璃材料质软且脆、不耐高温、不易加工的问题。其次,本文以Ti3O5和SiO2为高低折射率材料,利用高反射膜堆叠加和添加匹配层进行优化设计的办法,设计了干涉截止滤光膜。在薄膜制备过程中,通过对
4、各膜层残余蒸镀的研究与分析,解决了薄膜光谱曲线向长波方向漂移和通带透过率下降的问题。经检测,76mmH-FK61光学玻璃元件非球面面形精度为0.4322μm,干涉截止滤光膜在450nm-800nm波段平均透过率为95.7%,300nm-420nm、850nm-1200nm波段平均反射率分别为99.7%和99.6%,各项数据均符合部件的设计要求。关键词:非球面数控抛光面形精度工艺参数干涉截止滤光膜IABSTRACTInordertomeettherequirementsofstellarsimulatorimagingsystem,aimingatthekeycomponentofthesys
5、tem,inthispaper,basedonthePrestonprinciple,theprocessingtechnologyoftheH-FK61opticalglassasphericelementhasbeenstudied.Throughtheanalysisfortheprocessparametersinthelappingandpolishing,afterrepeatedtestsandoptimization,theproblemthatH-FK61opticalglassmaterialissoftandcrisp,nothightemperature,noteasi
6、lyprocessedissolved.Secondly,choosingTi3O5andSiO2ashighandlowrefractiveindexmaterials,theinterferencecut-offfilterfilmisdesignedinthispaperbyusinghighreflectionfilmheapsuperpositionandaddingmatchinglayerstooptimizethedesignmethods.Intheprocessofpreparingthefilterfilm,bystudyingandanalyzingtheresidue
7、depositionofeverylayer,theproblemthatthefilmspectralcurvemovestolongerwavelengthsandpassbandtransmissionfallsissolved.Aftertested,76mmH-FK61opticalglassasphericsurfaceaccuracycanget0.4322μm,theaverag
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