基于严格耦合波理论的散射场显微镜建模与分析

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1、单位代码：１０３巧分类号：Ｔｉｍ：２０１２１１００３５学号密级：公开冬化乂令义义ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈ打ｏｉｏ？ｙｇｙ碱±学位论文Ｍ乂ＳＴＥＲＤＥＧＲＥＥＴＨＥＳＩＳ论文题Ｈ：基于严格稱合波理论的散射场显微镜建模与分析学位类别：学历硕±臟计量技术及仪器（了程领域）．作者姓名：尚海鮮明副研輔＊完成时间：２０１５年４月於．ｉ心，迅．ｄ：浦喔嘱单位代码：１＾：公开密级２０１２１１００３５分类号：ＴＨ７４：学号冬化Ａ令义考ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏ

2、ｙｇｙ硕±学位论文ＭＡ＾ＳＴＥＲＳＤＩＳＳＥＲＴＡＴＩＯＮ论文题目：基于严格禪合波理论的散射场显微镜建模与分析学位类别；学历硕古专业名称：测试计量技术及化器作者娃名：导师姓名；觉学明副研究员完成时间：２０１５年０４月合肥工业大学学历硕±学位论文基于严格親合波理论的散射场显微镜建模与分析：尚海作者姓名指导教师：觉学明副研究员学科专业：测试计景技术及仪器研巧方向：精密测试技术及仪器２０１５年０４月ＡＤｉｓｓｅｒｔａｔｉｏｎＳｕｂｍｉ行ｅｄｆｏｒｔｈｅＤｅｒｅｅｏｆＭａｓ

3、１；ｅｒｇＴｈｅＭｏｄｅｌｏｆＳｃａｔｔｅｒｆｉｅｌｄＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅＢａｓｅｄｏｎＲｉｏｒｏｕｓＣｏｕｌｅｄＷａｖｅ乂ｎａｌｓｉｓｇｐｙＢｙＳｈａｎｇＨａｉＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｙｇｙＨｅｆｅｉＡｎｈｕｉＰ．民．Ｃｈｉｎ过，，Ａｒｉｌ２０１５ｐ，合肥工业大学本论文经答辩委员会全体委员审查，确认符合合肥工业大学学历硕±学位论文质量要求。答辩委员会签名（工作单位、职称、姓名）主席；合肥王业大学教授委员；合肥工业大学教授考化冻安徽理工大学教授私據ｆｆｅ合肥王业大学副教授吩＼

4、导师：合肥工业大学，副研究员，学位论文独创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行独立研究工作所取得的成果。据我所知，除了文中特别加Ｗ标注和致谢的内容外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得合肥工业大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。对本文成果做出贡献的个人和集体，。本人己在论文中作了明确的说明，并表示谢意工业大学无关。学位论文中表达的观点纯属作者本人观点，与合肥？２学位论文作者签名；尚卷签名日期：＞八年夺月＞日＾学位论文版权使用授权书乂堂化论义作者克全了解合肥工业大学有关保留、使用学位论文

5、的规目国家有关部口或机构定：，学校有权保存并向，Ｐ除保密期内的涉密学位论文外。本人授权合肥工业大送交论文的复印件和电子光盘，允巧论文被查阅或借阅、学可Ｗ将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库，允许采用影印缩印或扫描等复制手段保存。、汇编学位论文（保密的学位论文在解密后适用本授权书）；指导教师签名学位论文作者签名Ｉ２？签名日期：０主年ｆ月日签名日期：年月少日／＾７论文作者毕业去向工作单位：－ｍａ：联系电话：Ｅｉｌ；通讯地址：邮政编码致谢本论文是在我的导师党学明副研究员的悉屯、指导和帮助下完成的，是我们巧同付出的结果。党老师知识

6、渊博、治学严谨、要求严格、工作勤奋、实事求是，，不仅给我留下了深刻的印象也为我树立了学习的榜样，对我未来的人生也将产，指引了我的学习方向生深远的影响。党老师丰富的知识面拓宽了我的视野，培。从党老师那里，我不仅仅学到了如何做科研养了我独立思考的能力，更学到了如何为人处世。感谢在学习和生活中给我帮助和支持的师兄师弟们和同学们，他们有李松柏、朱跃、陈磊、何小虎、黄平安、刘美津、陆兵兵、周小帅、张建坤、邵途、彭鹏等，，因为你们我的学习和生活才更加丰富多彩。还要感谢我的家人，是父母的辛勤劳动为我创造的就学机会，还有姐姐为我读研所做出的牺牲和选择。你们浓浓的爱让我感

7、到温暖，你们殷切的期望给予我克服困难的勇气和动力。—最后，国家科技支撑计划基金。同时我还要感谢该课题的支持基金，感谢我们日益强大的祖国，并立志在未来的人生中努力尽到更大的化会责任。总之一，感谢所有曾经关也和帮助过我的老师、同学、亲人和朋友你们，祝生平安幸福！作者：尚海２０１５年３月２１日Ｉ摘要半导体和微机电等产业的迅速发展都对研发出能提离并打破常规衍射极限的光学显微技术Ｗ满足测