基于mems的热式风速及风量检测技术及单元研究

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4、业名称．．：检测技术与自动化装置媒：二’＇＊．王化忠教授？指导教师：：．，：．Ｔ一．’、．＇’，，；．苗研究生姓名吴永弘＇．；３二－．；巧咸Ｘｆ變装擁載—．：、？’，．；＇，＇沾；工？．申请学位级别学硕七．＂Ｖ專苗＾＾．次吟；－＾ｒ文提交日期，；２０１５年３月．，＾識；．ｒ卢辛；＇给：．．：．．，二．耗蘇瑜奔公妓衣孔．、，．—？、；严ｊ■一、＇＾＇Ｋ■ＡＶ．．Ｉ－－占批：子ｒ＇－＼ｒ：二ｆｉ＼，王？＇．．；＇＇．．．＇－’：＞‘－ｆ‘心－＾－‘－＊＜：．．：ｐ／．，－

5、ｒ，心弁令．‘ｔ？■＇＇＇－：＇‘－＇？．＇．Ｖ一Ｖ人：分类号：ＴＰ２１６学校代码：１００５７、研究生学号２８密级：务痛：１１７００９基于ＭＥＭＳ的热式风速及风量检测技术及单元研究ＳｔｕｄｙｏｎＦｌｏｗＶｅｌｏｃｉｔａｎｄＶｏｌｕｍｅＭｅａｓｕｒｉｎＴｅｃｈｎｉｕｅａｎｄＵｎｉｔｙｇｑＢａｓｅｄｏｎＭＥＭＳＴｈｅｒｍａｌＦｌｏｗＳｅｎｓｏｒ专业名称：检测技术巧自动化装置指导教师姓名：王Ｗ忠教授研究生姓名：吴永弘申请学位级别：工学硕尘论文提交Ｕ期：２０１５年３月

6、论文课题来源：国家级项目学位授予单位：天津科技大学天津科技大学学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的研究成果，本论文不包括任何其他个人或集体已经发。除文中特别加Ｗ标注引用的内容外表或撰写的成果内容，均日在文中Ｗ明确方。对本文研究做出重要贡献的个人和集体式标明。本人完全意识到本声明的法律后果由本人承担。作者签名：Ｕ期：＞仪年３月Ｉ３Ｕ专利权声明本人郑重声明：所呈交的论文涉及的创造性发明的专利权义使用权完全归天津科技大学所有。。本人完全意识到本声明

7、的法律后果由本人承扭作者签名：日期：功ｉｒ年３月／多日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留并件和电子版，允许论文被查阅和借阅向国家有关部口或化构送交论文的复印。本人授权天津科技大学可Ｗ将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可采用影印。、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文＂＂保密（请在方框内打Ｖ），巧年解密后适巧本授权［］书。本学位论文属于＂＂不保密（请在方框内打Ｖ）。作者签名：Ｕ期：公巧年３月１３Ｕ＾日导师签名：八

8、怎期：ｗｒ年；月叫摘要我国是农产品生产和消费大国，也是农产品的进出口大国。近年来，我国经济ｗ较快的速度发展，已成为全球第二大经济体，人民的生活水平也在不