feco薄膜动态磁导率的磁滯特性研究

《feco薄膜动态磁导率的磁滯特性研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、一？■－＇、＇．．＊＂？－．＞一？－－、《－－．．；一？＇＇＇一．－由＇＇．－？＾＇－＇ｒ．－＾ｆ．、．．；．：一‘＇ｖ，？，ｒ．．—ｖ，癸ｗ＇．＊．々＇＇兴．＇．．如讚；＾之又皆—巧苗沪；巧知－？’．．一＊乂？？－？■．户、、？．：＇－＇ｖ‘．＇．！ｒｕ：？：．－．＇ｒ，／ｊＴ、、、兴Ｖ一、’节＾．气：．．．；．．次，嘴Ｃ式作，ＶＶ；等；．：爲护姻病兴嘴—‘＇＇＇、？．户产…：畫戶雄片；＼公：芒成＇－．，：：寡聲＾巧ｍ心藻知＊请費寶．＇’＇－、心’：．

2、．令：．＇．、＞．知；／／／古Ｖ．．？．．．＇＇．，．户Ｎ沪―产如旁研究生毕业论文ｆｔｌｆ：（中请硕位）：：，，二４．若．够讀青＾．＇＇＇＇：：／，：义、馬：作、＇？？／＼私．Ｖ：片带；、＇．Ｊ文？／－‘共〇中连Ｖ公－、－＇＇心．论文題．卷；；Ｖ目ＦｅＣｏ薄膜劝态感导率的踐滞特性研於Ｖ＂＇＇￣＇／、．？作者姓名：＇去＼ｖ：、袁哲ｖ；？＇‘－、＇．：鮮Ｋ对嗟称微电子学与固体电子学／气’：Ｔ．睁，苗詳：■巧；—研究方向软滋雍

3、膜吸波特性ｒｋ．＇―、指导教师、＇呼唐东明—＇？．、為—’蓉―．、ＳＶ户海．＇襟．：，々：茹＾ｙ．：ｍ＇＇．、＇‘—－＇＇、、＇ＡＹ＇一片并，／，：也．‘－．＇＇Ａ．？＇＇’＇＇＇＾？‘＇＾’詳＇户々４．．知看／－－■終Ｃ武．某藏Ｘ＇－－．．卢．如１５年５２１曰＇省吝＞：月；奇．了，了也马游；努自＇沪？＂＾－乃，：夢苗毒矿．诚免鴻■＇＿＞＇’．．巧三－．Ｖ．．嗦載＾ＶｖＶＯ可梓立、声气和，；厶Ｌ．；学号：ＭＧ１２２３０５２论文答辩

4、日期：２０１５年５月日指导教师：（签字）前京大学硕±学位论文南京大学研究生毕业论文中文摘要肯页巧纸业论文题目：ＦｅＣｏ薄膜动态踞导率的磁滞特性研究毕微电子学与固体电子学专业２０１２级硕去生姓名：袁哲指导教师（姓名、职称）：唐东明副教授摘要一随着当今科学技术的飞速发展，人们正逐渐步入个全面电子化的世界，电’子产品的需求度越来越高，发展速度也在不断加快。今天，手机、电脑更新换代速度可谓日新月异，尤其是各种新兴可穿戴式电子设备不断出现并逐渐普及，这．＇电子元器件的发展提

5、出了非常高的要求些都对基础的制造技术和。电子设备的发展趋势是多功能化、关験化和微型化，集成电路技术的发展为电子器件的微型化提供了条件，也提出了磁性器件微型化的需求。但是常规的Ｈ维粉体磁性材料己…经很难应用于微型化的器件研制中种新型磁性材料，。软磁薄膜作为可Ｗ起到常规Ｈ维材料和低维纳米材料的重要衔接作用，另外由于高频磁场及微波频段下一具有较高的磁导率，己经逐渐成为磁性吸波材料探索道路的热鬥方向之。一对于软磁磁性薄膜的研＾方向，方面是不断通过实验改进和工艺探索制备一，另方面是不断进行扩充和系统化理论具

6、有更优化软磁特性的薄膜材料、探究薄膜内部微观结构与宏观特性之间的联系。无论哪种方向，都需要建立在如磁滞回线、磁谱曲线等基础研究之上。本论文将ＦｅＣｏ软磁薄膜材料的制备、表征与微观理论研究结合起来，并发现了铁磁材料磁滞回线与磁谱曲线的磁滞相关性，为铁磁薄膜的磁学结构研究提供了新的分析方法，对Ｗ磁性薄膜为基础的高频磁性器件应用研究具重要的意义。我们的主要工作有：通过射频磁控瓣射制备了１５０ｎｍ厚度的ＦｅＣｏ软磁薄膜，测量了ＦｅＣｏ薄膜的磁滞回线及其矫顽力等基本磁性参数５ＧＨ－ＦｅＣｏ，在０．Ｚ

7、８ＧＨＺ的频率范围内测量了Ｉ南京大学硕±学位论文＾薄膜的复数磁导率谱，通过改变沿易磁化轴方向外加磁场Ｈｅｘ的方向、大小，研ＦｅＣｏ；验证薄膜样品锋磁共振频率ｒ的究磁导率虚部磁谱曲线随之变化的规律了ｆ．平方值随正向外加磁场Ｈｅｘ线性变化的规律；观察到外加磁场Ｈｅｘ与样品磁化方向相反时，Ｈｅｘ大小改变的动态过程中磁谱曲线出现对应于磁滞回线的磁滞现象！观察到反向Ｈｅｘ大小处于矫顽力Ｈｅ大小附近值时，磁导率虚部磁谱曲线出现双峰现象，随着外加反向磁场的増大，低频位置的共振峰继续向低频移动，大小不

8、断减小直至消失，高频位置的共振峰继续１＾高频移动，大小不断增加，两峰的＝Ｈ肋趋于相等，铁大小在Ｈｅｘ；观察到反向Ｈｅｘ大小处于矫顽力Ｈｅ大小附近£时磁共振频率ｆｒ的平方值对应于Ｈｅｘ的数据点出现分化，分别分布于两条直线上，这反映了铁磁薄膜中部分磁矩随着反向Ｈｅｘ逐渐增大逐步翻转的磁化动力学