afm探针针尖半径变化影响纳米尺度表面检测的研究

《afm探针针尖半径变化影响纳米尺度表面检测的研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、分类号密级ＵＤＣ昆明理工大学硕±学位论文ＡＦＭ據针针尖半毯变化影喻纳米尺度表面检测的研究研巧生姓名程国东指导教师姓名、职称杨晚京教授学科专业机械电子工程研巧方向数字化设计与制造论文工作起止日期２０？１３年１２月２０１５年３月论文提交日期２０１５年３月学位论文使用授权书本论文作者完全了解学校关于保存、使用学位论文的管理办法及规定，即学校有权保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权昆明理工大学可将本学位论文的全部或部分内容编入学校

2、有关数据库和收录到《中国博±／优秀硕±学位论文全文数据库》进行信息服务，也可Ｗ采用影印、缩印或扫描等复制手段保存或汇编本学位论文。注。；保密学位论文，在解密后适用于本授权书＾、作者签名：／吉：国浆导师签名来唉別？５年Ｓ月Ｉ日交月《日玄。位年个学院；如４Ｘ禮嗦徒学号；７＾＼ｒｍ獅专业：如城破手１趙一式兰份（，交研巧生院学位工作处）附件Ｈ学位论文出版授权书我同意将本人学位论文著作权中的数字化复制权、发行权、汇编权和信息网络传播权的专有使用权在全世界范围内授予中国学术期刊（光盘版）电子杂志社（下＂＂简称杂志社

3、），同意其在《中国优秀博硕±学位论文全文数据库》和ＣＮＫＩ系列。数据库中出版，未经杂志社书面许可，我不再授权他人Ｗ数字化形式出版本文我同意《中国优秀博硕±学位论文全文数据库出版章程》规定享受相关权益。如有任何第Ｈ方未经杂志社许可使用本人论文，杂志社应追究其法律责任，诉松的全部费用由杂志社承担。胜诉后，由杂志狂与本人按５：５的比例分配所获赔偿金。作者签名：满面击、石年占月若日学位论文作者信息论文题目名学号答辩日期＜？日）诚狐年５月；＾鼠东ＩＩ过仅側＾｜＿＿＾论文级别博±口硕±回院／系／所抓南１猫受悚专业

4、獻献也寻Ｉ載ＩＩ联系电话Ｅｍａｉｌ＿通信地址巧Ｐ编）：——？备注；□公开□保密（年月至年月）保密的学位论文在解密后应遵守此协＿＿＿＿＿＿（议）－－联系电话：０１０６２７９１９５１６２７９３１７６６２７９０６９３传真；０１０６２７９１８１４－、０００８４通信地址：北京清华大学邮局８４４８信箱采编中屯邮编：１一遵守学术行为规范承诺本人己熟知并愿意自觉遵守《昆明理工大学研究生学术规范实施细则（试行）》．的所有内容，承诺所提交的毕业巧学位论文是终稿，不存在学术不端行为，且论文的纸质版

5、与电子版内容完全一致。二独创性声明本人声明所提交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加Ｗ标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得昆明理工大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料一。与我同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。Ｓ关于论文使用授权的说明本人完全了解昆明理工大学有关保留使用学位论文的规定，即：学校有权保留送交论文的复印件，允许论文被査巧和借阅；学校可Ｗ公布论

6、文的全部或部分内容，可Ｗ采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。（保密的论文在解密后应遵守此规定）＂＂＂＂一本学位论文属于（必须在Ｕｉ下相应方框内打Ｖ，否则律按非保密论文处理）：１、保密论文：□本学位论文属于保密。２、非巧密论文：□本学位论文属于内部论文，网上延后公开。□本学位论文不属于保密范围，适用本授权书。＂＂＂尸一是否同意授权Ｗ下单位（必须在凶下相应方框内打，否则律按同意授权处理）：□同意授权□不同意授权将本人学位论文著作权中的数字化复制权、发行权、汇编权和信息网络传播权的专有使用权在全世界范围内授予中国学术期刊（光

7、盘版）电子杂志社，并在《中国优秀博硕±学位论文全文数据库》和ＣＮＫＩ系列数据库中出版。：２０研究生本人签名签字日期：年月日＾卖奇、■研究生导师签名：私签字日期：２０诊年５月三日摘要ＡＦＭ探针针尖半径变化影响纳米尺度表面检测的研究摘要原子力显微镜（ＡｔｏｍｉａｃＦｏｒｃｅＭｉｃｒｏｓｃｏｐｙ，ＡＦＭ）是超精密的机械电子设各，一是典型的光机电体化装置。在机械领域，可应用于超精密加工表面的微观形貌检测，。在微机电系统领域，可应用于纳米力学性能的检测但是在原子为显微镜表面检测中，针尖在试件表面接触与扫描，探针

8、针尖会不可