空间光调制法抑制相干成像系统中相干噪声技术的研究

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1、＇分类巧密级ＵＤＣ＾纖南义寧ＮＡＮ朋ＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＯＫＣＩＥＮＣＥ＆ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ硕壬学位论文空间光调制法抑制相干成像系统中相干噪声技术的研究（题名和副题名）濟林凯（作者姓名）指导娜币姓名朱曰宏教授鸟駿副教授学位类别王学硕壬学科名称光举工程研究方向精密光学测试理论与技术论文提交时间２０１５．０１＇注：１注明《国际十进分类法ＵＤＣ》的类声明本学位论文是我在导师的指导下取得的研究成果，尽我所知，在本学位论文中，祿了加Ｗ标注和

2、致谢的部分外，不包含其他人已经发表或公布过的研究成果，也不包含我为获得任何教育机构的学位或学历而使用过的材料一。与我同工作的同事对本学位论文做出的贡献均已在论文中作了明确的说明。＾研究生签名；爲抹洗年Ｓ月日学位论文使用授权声明南京理工大学有权保存本学位论文的电子和纸质文档，可Ｗ借闽或上网公布本学位论文的部分或全部内容，可向有关部口或机构送交并授权其保存、借阅或上网公布本学位论文的部分或全部内容。对于保密论文，按保密的有关规定和程序处理。知Ｗｒ年。研究生签名：為辦３月巧硕±学位论文空间光调制法抑制相干成像

3、系统中相干噪声巧术的研究摘要光干涉检测技术是光学元件高精度加工检测过程中的必要环节，对于光学元件质量判定起到终检决定性作用。商用干涉仪中大多数采用相干性好的激光作为光源Ｗ此获得较大的相干长度。送种选择大大降低了干涉检测过程中的装调难度。然而、瑕疵、，不利因素是光学系统中的杂散光Ｗ及光学元件表面高频误差。灰尘等造成的散射光将造成像面中存在相干噪声，使得干涉系统的信噪比下降常巧的解决方法是对入射光源的相干性进行调制，Ｗ降低其相干性，进而抑制相。干噪声和提高信噪比本论文中采用了能够实时控制的动态光学元件，开展了干涉成

4、像系统中空间光调制抑制相干噪声技术的研究。本论文从统计光学理论出发，对测试光路中光场传输及像面光场采集进行了数理分析研究。研究了光场经过局部相位调制情况下其相干性的变化及其对于成一定时像系统噪声的影响。理论分析表明，，当调制巧上图案相位起伏标准差（＆）系统信噪比随着调制频率的增加先是增加然后在下降，；当调制频率不变时系统信噪比随着调制场相位起伏标准差的增大而增大。为验证理论分析，本论文开展相应的实验工作ａｎ－Ｇｒｅｅｎ型干。ＷＴｗｙｍ涉光路为原型，在共光路部分引入空间光调制器作为光场调制器件对光场进行局部相位调制，分析采

5、集到的干涉条纹图的信噪比。通过实验结果表明，验证了理论模型。此外，应选用相位起伏标准差〇产０．２５化的谓审！１图案Ｗ及刷新频率户３０Ｈｚ左右进行调审！１，可Ｗ得到较高的干涉’条纹可见度和系统信噪比。关键词：空间光调制，信噪比，相位起伏标准差ＩＡｂｓｔｒａｃｔ硕±学位论文ＡｂｓｔｒａｃｔＯｐｔｉｃａｌｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ化Ｓｔｉｎｇｉｓｏｎｅｏｆｔｈｅｎｅｃｅｓｓａｒｙｐａｒｔｄｕｒｉｎｇｔｈｅｈｉｇｈｐｒｅｃｉｓｉｏｎｏｐｔｉｃａｌｃｏｍｐｏｎｅｎｔｒｏｃｅｓｓｉｎｇ．Ｉｔｉｓ

6、ｄｅｃｉｓｉｖｅｉｎｄｅｔｅｒｍｉｎｉｎｔｈｅｑｕａｌｉｔｙｏｆｏｐｔｉｃａｌｐｇｃｏｍｐｏｎｅｎｔＣｏｍｍｅｒｃｉａｌｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｕｓｅｓｌａｓｅｒａｓｌｉｇｈｔｓｏｕｒｃｅｔｏｇｅｔｌｏｎｇｃｏｈｅｒｅｎｃｅｌｅｎｇｔｈ．Ｔｈｉｓｍｅｔｈｏｄｍａｋｅｓｏｐｔｉｃａｌｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ化ｓｔｉｎｇｍｕｃｈｅａｓｉｅｒ．Ｈｏｗｅｖｅｒ，ｔｈｉｓｍｅ化ｏｄａｌｓｏｈａｓｉｔｓｄｉｓａｄｖａｎｔａｇｅ．Ｔｈｅｄｉｆｆｕｓｉｖｅｌｉｇｈｔｉｎｏｐｔｉｃ

7、ａｌｓｙｓｔｅｍａｎｄｔｈｅｓｃａｔｔｅｒｉｎｌｉｔｗｈｉｃｈｉｎｄｕｃｅｄｂｈｉｈｆｒｅｕｅｎｃｅｒｒｏｒｄｕｓｔａｎｄｉｍｅｒｆｅｃｔｉｏｎｇｇｈｙｇｑｙ，ｐｏｆｔｈｅｓｕｒｆａｃｅａｒｅｔｈｅｍａｉｎｄｉｓａｄｖａｎｔａｇｅｓ．Ｓｉｇｎａｌ化打ｏｉｓｅｒａｔｉｏＳＮＲｗｉｌｌｄｅｃｒｅａｓｅ（）ｂｅｃａｕｓｅｏｆｔｈｅｓｔｅｄｉｓａｄｖａｎｔａｇｅｓ．Ｔｏｓｕｐｐｒｅ巧ｔｈｅｃｏｈｅｒｅｎｔｎｏｉｓｅａｎｄｉｎｃｒｅａｓｅＳＮＲ，ｅｏｌｅｕｓｕａｌｌｏｄｕｌ

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