大间距光轴平行性检测方法研究

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1、学号：S15020193大间距光轴平行性检测方法研究硕士学位(毕业)论文大间距光轴平行性检测方法研究崔研究生姓名：崔启胤启胤学科、专业：光学工程二○一八年六月分类号：密级：可公开UDC：编号：S15020193大间距光轴平行性检测方法研究ResearchontheTestingMethodofLargeDistanceOpticalAxisParallelism学位授予单位及代码：长春理工大学（10186）工程领域名称及代码：光学工程（080300）研究方向：现代光学技术及工程应用申请学位级别：硕士指导教师：张磊研究生：崔启胤论文起

2、止时间：2017.01—2018.04摘要随着光电技术的进步和应用需求的日益增长，融合可见光、红外光以及激光等探测器的设备已得到广泛的应用，这些设备集成多种光电传感器，光谱范围覆盖可见光到红外波段，各个探测器光学系统在设备中的结构布局也越来越复杂。光轴平行性是决定多个光学系统集成光电设备性能的关键问题，针对光电设备的光轴平行性检测也至关重要。新型的光电设备层出不穷，光电设备不同的轴系分布跨度大、距离远，大大增加了光轴平行性的检测难度。本文通过对光轴平行性检测的现有技术进行分析比较，针对大间距的光轴平行性检测问题进行了一定的研究，并设

3、计了一种可检测大间距光轴之间平行性的检测系统。根据光学系统的设计结果和检测要求，提出大间距光轴平行性检测系统的设计方案，为了保证检测精度，重点针对引入的高精度光束平移系统进行原理分析，最后完成整个系统的精度分析和参数检测。大间距光轴平行性检测系统可实现多光谱光轴平行性的检测，通过引入高精度光束平移系统，检测口径可达1200mm，并且可在－40℃～50℃温度范围内保证精度。经过针对检测系统的误差分析以及参数检测，系统的可见、红外和激光光轴之间的平行性检测精度为12″，高精度光束平移系统的最大误差为16.5″，系统的大间距光轴平行性检测

4、误差为32″，整体检测精度小于指标要求的40″。关键词：光轴平行性光束平移系统大间距动态光学IABSTRACTWiththeadvancementofoptoelectronictechnologyandtheincreasingdemand,devicesincorporatingvisiblelightdetector,infraredlightdetector,andlaserdetectorhavebeenwidelyused.Thesedevicesintegrateavarietyofphotoelectricsenso

5、rs,andthespectralrangecoversthevisibletoinfraredwavelengths.Thestructuredistributionofvariousopticalsystemsisalsobecomingmoreandmorecomplex.Opticalaxisparallelismisakeyissuethatdeterminestheperformanceofmulti-opticalsystemsforintegratedoptoelectronicdevices.Opticalaxis

6、parallelismtestingforoptoelectronicdevicesisalsocritical.Thenewtypeofphotoelectricequipmentemergesinendlessly.Thedistributionofdifferentopticalsystemsofthephotoelectricequipmentislargeanddistant,whichgreatlyincreasesthedifficultyofdetectingtheparallelismoftheopticalaxi

7、s.Thispaperresearchontheparallelismdetectionoflargedistanceopticalaxisanddesignadetectionsystemwhichcantesttheparallelismbetweenlargedistanceopticalaxes.Accordingtothedesignresultsoftheopticalsystemanddetectionrequirements,atestingsystemwasproposed.Inordertoensuretheac

8、curacyofthetestingsystem,theprincipleoftheintroducedhigh-accuracybeamparalleltranslationsystemisanalyzed,andtheaccura