基于soc的mems双轴式数显倾角仪的研究

《基于soc的mems双轴式数显倾角仪的研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、2010年第1期总第37卷测量与检测技术·67·基于SOC的MEMS双轴式数显倾角仪的研究李晓豁，赵悦，姜鹤，朱兴梅(辽宁工程技术大学机械工程学院，辽宁阜新123000)摘要：利用SOC驱动MEMS先进的传感器件设计了微型化、智能化、多功能、功耗低的便携式双轴式数显倾角仪。该倾角仪以SOCLPC2220为平台，使用嵌入式实时操作系统~C／OS—II．根据采集到的基于MEMS技术的MXD2020E加速度传感器的输出信号，计算出相应轴向的倾角变化，并通过LCD显示器显示测量结果。该倾角仪具有使用便携、测量精确、智能等特点，适用于高精度条件下的倾角测量。关键词：SOC；MEMS；实

2、时操作系统；加速度传感器中图分类号：TH741．2文献标识码：A文章编号：1006—0316(2010)01—0067—05SOC-basedofMEMS-typedual—axisdigitalinclinometerresearchLIXiao—huo，ZHA0Yue，儿ANGHe，ZHUXing—mei(MechanicalEngineeringCoHegeofLiaoningTechnicalUniversity。Fuxin123000，China)Abstract：UsingadvancedsensorofSOC—drivenMEMSdesignminiaturiz

3、ation、intelligent、multi—functional、lowpowerfulconsumptionportabledual·axis-·typedigitalinclinometerwhichtakesSOCLPC2220asaplatformandusesembeddedreal-timeoperatingsystem／aC

4、OS-IItocalculatethecorrespondingchangeinaxialinclinationaccordingtocollectedoutputsignalbasedonMEMStechnologyMXD2020Ea

5、ccelerationsensor,andthroughtheLCDdisplaydemonstratesmeasurementresults．Theinclinometerwithportableusing，accuratemeasurement，intelligentcharacteristicsissuitableforhigh—precisioninclinometermeasurements．Keywords：SOC；MEMS；real—timeoperatingsystem；accelerationsensors在工业自动化、工程机械、军事、航天航空、方便的双轴传

6、感器满足科技发展的需要成为当务之海洋船舶等很多领域越来越多地要求高精度地检测急。本文将按就用SOC来驱动MEMS先进传感器倾角，为此，利用半导体技术和微机电系统、传感件、通过感应温度变化来测量加速度、再通过测得器高端技术来研发适用的倾角检测仪显得尤为重的加速度沿、】，轴向变化计算相应轴向倾角变化、要。美国、加拿大等国在这方面已经取得了一定的并用LCD实现倾角显示的倾角仪。成果，我国目前也有很多倾角传感器的生产厂家，1SOC和MEMS的简介比较成熟的是单轴倾角传感器，不过单轴倾角传感器测量范围较小，最大只能测量180。范围内的倾角，SOC称为系统级芯片，也称片上系统，意指它而现

7、代工程使用中经常需要测量360。范围内的倾是一个产品，是一个有专用目标的集成电路，其中角。为此，研制显示方便、体积小、功耗低、携带包含完整系统并有嵌入软件的全部内容。同时，它收稿日期：2009—10一l2基金项目：国家自然科学基金资助项目(59774033)；国家煤矿安全监察局安全生产科技发展指导性计项目(05—082)；辽宁省教育厅创新团队项目(2007T0683)；辽省省大型工矿装备实验研究中心(辽宁省高校重点实验室)开放基资助项目(07．61)；辽宁省大型工矿装备重点实验室(辽宁省第二批科学技术计戈Ⅱ项目，2008403010)作者简介：李晓豁(1953一)，男，辽宁省

8、锦州人，硕士，教授，博士生导师，辽宁工程技术大学机械工程学院副院长．主要研究方向为现代机械设计理论与方法、机械系统建模与仿真、机电液一体化技术、大型工矿装备的动力学行为与控制技术·68·测量与检测技术2010年第1期总第37卷又是一种技术，用以实现从确定系统功能开始，到受到加速度或水平放置时温度的下降陡度是以热源软／硬件划分，并完成设计的整个过程。从狭义角度为中心完全对称的，四个热电耦组因感应温度而产讲，它是信息系统核心的芯片集成，是将系统关键生的电压是相同的。但由于自由对流热场的传递性，部件集成在一块