多弧离子镀等离子体镀膜技术应用的论文及其计算机控制

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1、天运罐工大学硕士学位论文摘要本文综述了多弧离子镀沉积技术的原理和发展，阐述了多弧离子镀沉积技术在：

2、二业方潮的应用。介绍了多弧离子镀设备构成，以Cr靶为例，测量了实验系统中影响沉积薄膜性能的有关参数。采用多弧离子镀沉积Cr—N硬质薄膜，分析了不同参数对薄膜结构和性能的影嘲，捌虹氮气一氲气气氛魄，霹底偏压，弧电滚镣。分析结果表明，Cr—N薄膜显著提高了旗体的照微硬度和耐磨性，Cr—N薄膜硬度是基斌疆瘦漪4-8僚。x龛孝线麓懿谱表骥，随麓氯气食餐熬撬离，臼吲薄膜静糖结构发生改变，从单相cr变化到Cr州，然后过渡到Cr2N+CrN，最后到单相CrN。本实骏中未发现Cr+Cr：N混台相结构，W能和实验

3、选弹的气氛比有关。树底偏压对制各的er—N薄膜鲍硬度影响较小。弧电流对硬度的影响较大，弧电流域相，薄膜的硬度降低。分析认为弧电流增大，cr粒子的数量增加，cr粒子和N粒子相对含量发生变化，蚨嚣导致薄膜的擞残缝趁发生改变。x射线惩菇分据缝鬃表明，弧电流增大，cr—N薄膜X射线的主峰由CrN相变为Cr相。本论文还简擎介绍了镀膜设备豹计算梳控懿系统。遮着计算税技术、爨动纯技术和通信投术的迅速发耀，生产自动化也越洙越多地在工业生产过程中得到了应用。随着镀膜技术不断强工业上的应鞠，镀膜设备蜜现计算机自动控制怒一个必然趋势。关键词：多弧离子镀；cr_N薄膜；结构；显微硬度；计算机控制多弧离子镀等离子体镀膜

4、技术应用及其计算机机控制TheApplicationofMulti—arcIonPlatingPlasmaTechnologyandComputerControlAbstractThedepositionprincipleanddevelopmentofmulti—arcionplatingtechnologyareintroducedinthispaper．Theindustrialapplicationofthisdepositiontechnologyisalsodescribed。Thestructureofthisionplatingequipmentisrecited．Theeff

5、ectsofsomeparametersontheperformancesoffilmsarestudiedforCrasthetarget．Cr-Nfilmsaredepositedinthisequipment，theinfluencesofdepositionparametersonthestructureandpropertiesofthefilmsareanalyzed，suchastheratioofgas(N2andAt)，arccurrent，andbiasvoltage．Theresultsshowthatthehardnessandthewearresistanceprop

6、ertyofthesubstratesareimprovedbydepositingCr-Nfilms，XRDanalysesindicatethatwiththeincreasingoftheratioofN2，thestructuresoftheCr-NfilmsarechangedfromCrtoCr2N，thenCr2N+CrN，finallyefN．Cr+Cr2NphaSesaren’tfoundinthisexperiment，itispossibletOberelatedtotheratioofthegas．Intheexperiment，biasvoltage(40-200V)

7、haslittleeffectonthehardnessofCr-Nfilms．whilearccurrentisthemainparametertocontrolthehardnessofCr-Nfilms．{溉higherthearccurrentis，thelowerthehardnessis．ItisbecausethatthemainstructuresofthefilmschangefromCrNtoCrwhenarccurrentincrease．Controlsystemoftheplatingfilmequipmentsisstillintroducedinbrie￡W沛th

8、edevelopmentofcomputertechnique，theautomationtechniqueandcommunicationtechnology，theautomationiswidelyusedinindustry．Withtheincreaseoftheapplicationofplatingtechnique，itwillbeaninevitabletrendthatplat