新型霍尔硅集成传感器new

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1、研究动态浦沼如狐备貂粼泌梦附祥丫涛。名。卿一曰五圭暑号新型霍尔集成传感,摘要本文概述了硅霍尔传感器的进展介绍了采用微电子技术的制造工艺和高精度矢量磁探头的研制,以及已被验证的采用磁断续器增强检测灵敏度的新结构器件,并以角位移传感器和电流传感器。为例介绍了其最新应用、、、型隔离环关键词磁霍尔传感器哇集成芯片图集成工艺制作的霍尔片一、引言目前,硅霍尔探头或霍尔传感器已广泛应用。在工业上,霍尔传感器可用于非接触开关,位置指’示器和显示表,系统中速度与转动的测量。在汽车彩上业,霍尔传感器被用于制动,速度显下,电名尸蛛动车窗,以及车门,项灯,发动机和齿轮箱的控制系统。此外,在家用电器,消费电子和计算

2、机方面霍尔传感器也有许多应用。二、竖直式霍尔器件一’〕霍尔器件的结构通常与早期发现霍尔效应时,,图竖直式霍尔集成器件的截面图近似有激励端和输出端四个连接点当采用集成电路技术时,其霍尔片即是水平方向的芯片表面,卜,参见图。在此结构卜,霍尔器件敏感于的垂直于架卜卜洲芯片平面的磁场并在两极间产生霍尔电势。对于需敏感平行于霍尔片磁场应用场合,竖直式霍尔器件二。回可满足要求在这种竖直式器件的结构中相当君。卜夸召山白于霍尔片的区域是与芯片平面垂直的,要实现这一图将传统型霍尔片转换为竖直式霍尔传感器,,一点就要选择合适的区域形状使其所有连接点都所有电,工气连接点都处于芯片表面适于可从芯片表面上引出,参见

3、图,其作区域是艺制造