mems扭转微镜温度效应的仿真分析

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1、江西理工大学硕士学位论文目录目录摘要...........................................................................................................................................IAbstract....................................................................................................................................

2、.......II第一章前言..................................................................................................................................11.1MEMS扭转微镜的研究背景................................................................................................................11.2MEMS扭转微镜的国内外研究现状.....

3、................................................................................................11.3研究意义................................................................................................................................................41.4研究内容与章节安排.....................................

4、.......................................................................................4第二章MEMS扭转微镜的静态特性...........................................................................................62.1引言.................................................................................................

5、.......................................................62.2静态模型描述........................................................................................................................................62.2.1不考虑温度效应的微镜模型及静态特性..........................................................................

6、.......62.2.2考虑温度效应的微镜模型及静态特性.....................................................................................72.3仿真与结果分析....................................................................................................................................82.3.1静态特性曲线的温度效应........................

7、.................................................................................92.3.2吸合角与释放角的温度效应...................................................................................................102.3.3典型电压值的增