晶体硅太阳电池低温气相外延制结分析

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1、目录目录第1章绪论...............................................................................................................11.1晶体硅太阳电池制结工艺现状及发展........................................................11.1.1POCl3液态源热扩散制结.....................................

2、.............................11.1.2离子注入发射极技术.........................................................................31.1.3HIT异质结电池技术..........................................................................41.1.4低温气相外延制结...............................

3、..............................................51.2低温外延工艺在太阳电池领域中的应用....................................................81.3本论文所研究的内容及意义........................................................................91.3.1低温外延制备掺杂晶体硅薄膜..........................

4、...............................91.3.2低温外延制备晶体硅pn结的初步研究...........................................91.3.3本文研究意义.....................................................................................9第2章低温气相外延法制备掺杂晶体硅薄膜......................................

5、...............112.1引言.............................................................................................................112.2实验方法......................................................................................................112.2.1实验材

6、料及仪器...............................................................................112.2.2实验过程...........................................................................................132.2.3实验表征方法......................................................

7、.............................132.3PECVD沉积工艺对掺杂外延硅薄膜性能的影响....................................142.3.1极板间距对掺杂硅薄膜的外延影响...............................................142.3.2沉积时间对外延掺杂硅薄膜的外延性能影响...............................162.3.3掺杂气体流量及H2气氛退火对薄膜外延效果的影响....

8、.............182.4RTP后处理对外延掺杂硅薄膜的改性......................................................192.4.1石英衬底上沉积掺杂氢化硅薄膜的热改性过程...........................192.4.2晶化过程对掺杂薄膜结晶性的影响...............................................212.4.3晶化热改性过程中升降温过程对薄膜晶