钙钛矿型铁电薄膜异质结构的取向生长及性能研究

《钙钛矿型铁电薄膜异质结构的取向生长及性能研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、分类号：TQl74密级：公开单位代码：10422学号：200912368⑧0菇办孑博士学位论文论文题目：钙钛矿型铁电薄膜异质结构的取向生长及性能研究Highly··orientedgrowthofperovskiteferroelectricthinfilmheterostructuresandinvestigationoftheirproperties作者姓名韭住至丝五茎专业名称挝料堂指导教师欧阳俊教授垦整P眇陔合作导师2014年5月21日ADissertationSubmittedfortheDoctoralDegreeofPhilosophyHighly-—orientedgrowth

2、ofperovskiteferroelectricthinfilmheterostructuresand●J●一·l---lnVeStlgatlon01theirDr0DertlesCandidate：ZhangWeiMajor：MaterialsScienceSupervisor：Prof．OuyangJun√仇门pbI，V鼍ShandongUniversityMay12他，2014原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集

3、体，均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。论文作者签名：至整§生日期：冱』兰：皇：兰兰关于学位论文使用授权的声明本人同意学校保留或向国家有关部门或机构送交论文的印刷件和电子版，允许论文被查阅和借阅；本人授权山东大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。(保密论文在解密后应遵守此规定)论文作者签名：肆导师签名：区鱼阻日期：WI少、5、1y目录符号简写说明⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．ix摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．I

4、ABSTRACT⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯III第1章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。11．1引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯11．2铁电薄膜简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．21．3铁电薄膜的研究现状和发展趋势⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．31．4铁电薄膜制备技术的发展及应用水平⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．61．4．1磁控溅射技术及其在铁电薄膜制备中的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．61．4．2其它镀膜技术在铁电薄膜制备中的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯111。5铁电薄膜理论的研

5、究进展和存在的问题⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯131．6钙钛矿型铁电薄膜及其取向生长研究概况⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯l71．6。1钙钛矿型铁电薄膜的结构特点⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯171．6．2钙钛矿型铁电薄膜的取向研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯181．7本课题研究的意义及主要内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯241，7．1本课题研究的目的及意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯241．7．2本课题研究的主要内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯24第2章薄膜的制备与表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯272．1薄膜样品的制各⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

6、⋯272．1．1实验材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯272．1．2研究方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯272．2微观结构表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯282．2．1晶体结构分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯282．2．2微观形貌分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯292t2．3电畴结构分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯292．3电学性rl锄,fJ试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯30一．————，：。：；：。旦』坠。：：。：：：：：：。：。：；：：：：：：：：一=!E===弓=!

7、!!!!=E!====!=!=!==!===j=!=====—255——。————————一一2．3．1铁电性能⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯jl2．3．2介电性能⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3z2．3．3压电性能⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯32第3章BaTi03薄膜结晶结构与溅射工艺研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯353．1溅射工艺对BTO薄膜