一种新型电容式压力传感器

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1、第２９卷第３期半导体学报犞狅犾．２９犖狅．３２００８年３月犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛犕犪狉．，２００８犃犖狅狏犲犾犆犪狆犪犮犻狋犻狏犲犘狉犲狊狊狌狉犲犛犲狀狊狅狉，犪狀犱犎狌犪狀犵犙犻狀犵’犪狀犎狌犪狀犵犡犻犪狅犱狅狀犵，犎狌犪狀犵犑犻犪狀狇犻狌，犙犻狀犕犻狀犵（犓犲狔犔犪犫狅狉犪狋狅狉狔狅犳犕犈犕犛狅犳狋犺犲犕犻狀犻狊狋狉狔狅犳犈犱狌犮犪狋犻狅狀，犛狅狌狋犺犲犪狊狋犝狀犻狏犲狉狊犻狋狔，犖犪狀犼犻狀犵２１００９６，犆犺犻狀犪）犃犫狊狋狉犪犮狋：犃狀狅狏犲犾犮犪狆犪犮犻狋犻狏犲狆狉犲狊狊

2、狌狉犲狊犲狀狊狅狉犻狊狆狉犲狊犲狀狋犲犱，狑犺狅狊犲狊犲狀狊犻狀犵狊狋狉狌犮狋狌狉犲犻狊犪狊狅犾犻犱狊狋犪狋犲犮犪狆犪犮犻狋狅狉犮狅狀狊犻狊狋犻狀犵狅犳狋犺狉犲犲狊狇狌犪狉犲犿犲犿犫狉犪狀犲狊狑犻狋犺犃犾／犛犻犗２／狀狋狔狆犲狊犻犾犻犮狅狀．犐狋狑犪狊犳犪犫狉犻犮犪狋犲犱狌狊犻狀犵狆狀犼狌狀犮狋犻狅狀狊犲犾犳狊狋狅狆犲狋犮犺犻狀犵犮狅犿犫犻狀犲犱狑犻狋犺犪犱犺犲狊犻狏犲犫狅狀犱犻狀犵，犪狀犱狅狀犾狔狋犺狉犲犲犿犪狊犽狊狑犲狉犲狌狊犲犱犱狌狉犻狀犵狋犺犲狆狉狅犮犲狊狊．犛犲狀狊狅狉狊狑犻狋犺狊犻犱犲犾犲狀犵

3、狋犺狊狅犳１０００，１２００，犪狀犱１４００μ犿狑犲狉犲犳犪犫狉犻犮犪狋犲犱，狊犺狅狑犻狀犵狊犲狀狊犻狋犻狏犻狋狔狅犳１８，２３，犪狀犱３６犳犉／犺犘犪狅狏犲狉狋犺犲狉犪狀犵犲狅犳４１０～１０１０犺犘犪，狉犲狊狆犲犮狋犻狏犲犾狔．犜犺犲狊犲狀狊犻狋犻狏犻狋狔狅犳狋犺犲狊犲狀狊狅狉狑犻狋犺犪狊犻犱犲犾犲狀犵狋犺狅犳１５００μ犿犻狊４６犳犉／犺犘犪，狋犺犲狀狅狀犾犻狀犲犪狉犻狋狔犻狊６４％，犪狀犱狋犺犲犿犪狓犺狔狊狋犲狉犲狊犻狊犻狊３６％．犜犺犲狉犲狊狌犾狋狊狊犺狅狑狋犺犪狋狆犲狉犿犻狋狋犻狏犻狋狔犮

4、犺犪狀犵犲狆犾犪狔狊犪狀犻犿狆狅狉狋犪狀狋狆犪狉狋犻狀狋犺犲犮犪狆犪犮犻狋犪狀犮犲犮犺犪狀犵犲．犓犲狔狑狅狉犱狊：犮犪狆犪犮犻狋犻狏犲狆狉犲狊狊狌狉犲狊犲狀狅狉；犲犾犲犮狋狉狅狊狋狉犻犮狋犻狅狀；狆狀犼狌狀犮狋犻狅狀狊犲犾犳狊狋狅狆犲狋犮犺犻狀犵；犪犱犺犲狊犻狏犲犫狅狀犱犻狀犵；犾犻狀犲犪狉犻狋狔犈犈犃犆犆：２５７５；８４６０犆犔犆狀狌犿犫犲狉：犜犘２１２１２犇狅犮狌犿犲狀狋犮狅犱犲：犃犃狉狋犻犮犾犲犐犇：０２５３４１７７（２００８）０３０４２８０５犳犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀狊狋犲狆狊，犪狀犱狋犲狊狋狉犲

5、狊狌犾狋狊狅犳狋犺犲狊犲狀狊狅狉．犜犺犲犪１犐狀狋狉狅犱狌犮狋犻狅狀狀犪犾狔狊犻狊狉犲狊狌犾狋狊犻狀犱犻犮犪狋犲狋犺犪狋狋犺犲犮犪狆犪犮犻狋犪狀犮犲犮犺犪狀犵犲狊犿犪犻狀犾狔犱狌犲狋狅狋犺犲狆犲狉犿犻狋狋犻狏犻狋狔狏犪狉犻犪狋犻狅狀狌狀犱犲狉狆狉犲狊犆犪狆犪犮犻狋犻狏犲狆狉犲狊狊狌狉犲狊犲狀狊狅狉狊犪狉犲狑犻犱犲犾狔狌狊犲犱犻狀狊狌狉犲犪狆狆犾犻犲犱．犿犪狀狔犳犻犲犾犱狊狊狌犮犺犪狊犻狀犱狌狊狋狉犻犪犾犮狅狀狋狉狅犾，犫犻狅犿犲犱犻犮犪犾犻狀狊狋狉狌犿犲狀狋狊，犪狀犱犲狀狏犻狉狅狀犿犲狀狋犪犾犿狅狀犻狋狅

6、狉犻狀犵．犆狅犿狆犪狉犲犱２犇犲狊犻犵狀犪狀犱犳犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀狑犻狋犺狋犺犲狆犻犲狕狅狉犲狊犻狊狋犻狏犲狊犲狀狊狅狉，狋犺犻狊犽犻狀犱狅犳狊犲狀狊狅狉犺犪狊犪犱狏犪狀狋犪犵犲狊狋犺犪狋犻狀犮犾狌犱犲犾狅狑狆狅狑犲狉犱犻狊狊犻狆犪狋犻狅狀，犾狅狑犃犮狉狅狊狊狊犲犮狋犻狅狀狅犳狋犺犲狆狉狅狆狅狊犲犱狊犲狀狊狅狉犻狊狊犺狅狑狀犻狀狋犲犿狆犲狉犪狋狌狉犲犱狉犻犳狋，犵狅狅犱犺狔狊狋犲狉犲狊犻狊，犪狀犱狊狋犪犫犻犾犻狋狔．犃犮犉犻犵１．犜犺犻狊狊犲狀狊狅狉犮狅狀狊犻狊狋狊狅犳犃犾／犛犻犗２／狀狋狔狆犲狊犻犾犻

7、犮狅狀，犮狅狉犱犻狀犵狋狅犆＝ε犃／犱，狋犺犲犮犪狆犪犮犻狋犻狏犲狊犲狀狊狅狉犮犺犪狀犵犲狊狑犺犲狉犲犃犾犪狀犱狀狋狔狆犲狊犻犾犻犮狅狀犪狉犲狌狊犲犱犪狊狋狅狆犪狀犱犫狅狋狆狉犻犿犪狉犻犾狔犱狌犲狋狅狏犪狉犻犪狋犻狅狀犻狀犱犻狊狆犾犪犮犲犿犲狀狋，狏犪狉犻犪狋犻狅狀，狋狅犿犲犾犲犮狋狉狅犱犲狊，狉犲狊狆犲犮狋犻狏犲犾狔，狑犺犻犾犲犛犻犗２犻狊狋犺犲犱犻犲犾犲犮犪狀犱狆犲狉犿犻狋狋犻狏犻狋狔．犃狀狅狉犿犪犾狊犲狀狊狅狉犫犪狊犲犱狅狀犱犻狊狆犾犪犮犲狋狉犻犮犾犪狔犲狉．犜犺犲犿犲犿犫狉犪狀犲狊犪狉犲犱犲犳狅

8、狉犿犲犱狌狀犱犲狉狆狉犲狊犿犲狀狋狏犪狉犻犪狋犻狅狀狌狊狌犪犾犾狔犺犪狊狊犲狏犲狉犲狀狅狀犾犻狀犲犪狉犻狋狔狊犻狀犮犲狊狌狉犲，犮犪狌狊犻狀犵犪犾狅犪犱犱犲犳犾犲犮狋犻狅狀犫犲狀犱犻狀犵，犪狀犱犺犲狀犮犲狋犺犲犮犪狆犪犮犻狋犪狀犮犲犻狊犻狀狏犲狉狊犲犾狔狆狉狅狆狅狉狋犻狅狀犪犾狋狅狋犺犲犱犻狊犾犲犪犱犻狀犵狋狅犮犺犪狀犵犲狊狅犳狋犺犲犪狉犲犪犪狀犱犱犻狊狆犾犪犮犲犿犲狀狋犫犲狆