生产实习讲义(2012版本)new

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1、实验室安全卫生守则（2007年4月修订）第一条凡进入实验室人员必须严格执行学校和学院的安全管理规章制度，义不容辞地履行安全卫生工作职责。第二条实验人员必须保持高度的消防安全意识和责任感，熟悉本室水、电开关位置和操作，熟悉现有各种灭火器材的使用方法和放置地点，爱护消防器材和设施。第三条实验前必须预先熟悉仪器设备的性能及使用方法，检查电路、水路是否正常，实验过程中要严格遵守各项操作规程，防止由于操作不当所引发的火警。第四条实验过程中如发现任何可能带来消防、安全隐患的现象（如漏水、漏电、漏气等），要及时采取有效

2、措施予以处理，并报告实验室负责人或学院办公室及时维修处理。第五条对存在安全风险的实验以及夜间（22:30后）实验，须事先得到实验室负责人的批准，并至少有两人参与。第六条出现意外事故时要保持镇定，采取有效的自救措施，及时逃生报警；如有可能，采取力所能及控制措施。第七条易燃易爆、放射性、以及有毒有害的物品，要严格按照学校有关规定管理，使用时要注意安全操作。第八条下班时要注意关好门窗、气瓶和水电开关，消除一切安全隐患。第九条寒暑假和法定节日进入实验室工作，须事先获得实验室负责人批准，通知大楼值班员并报学院办公室

3、备案。第十条做好实验室清洁卫生工作，保持实验室工作环境和仪器设备的整洁。第十一条禁止在实验室内吸烟，煮食物、用电取暖、打牌、下棋、喧闹、玩电子游戏等，保持实验室安静，保证集中精力做好实验工作。物理科学与工程技术学院火警电话：119学校保卫处：841112341生产实习讲义目录一、光学真空镀膜机原理..............................3二、半自动电子束镀膜机.............................17三、半自动磁控溅射镀膜机.....................

4、......58四、反应离子刻蚀机.................................76五、紫外曝光机.....................................95六、激光划片机....................................111七、快速热处理....................................137八、高温度智能管式高温炉..........................145九、超声波清洗机................

5、..................148十、多功能纯水系统................................151十一、分光光度计..................................163十二、台阶仪......................................189十三、椭圆偏振光谱仪..............................209十四、金相显微镜..................................2692生产实习讲义一、光

6、学真空镀膜机原理薄膜光学是研究光在分层介质中传播规律的一门科学，主要研究光在分层介质中传播时的分光透射特性、分光反射特性、分光吸收特性、以及光的偏振状态和相位变化等现象。光学多层镀膜技术是一门集光学、电子、材料、真空、镀膜、自动控制等多门学科于一体的综合性现代高新技术。运用光学镀膜技术制备的多层光学薄膜元器件已经广泛应用于光学、电子、信息、通讯、生物、医学、环保、节能、材料等国民经济的各个领域，并起着重要的作用。制备光学薄膜的设备是光学真空镀膜机。它主要由三个部分组成：真空系统，蒸发系统和膜厚监控系统。（

7、一）真空系统1、真空获得真空系统是由机械泵、扩散泵、储气桶及真空室（钟罩）等组成。它是用来获得必要的真空度，使膜料的分子或原子蒸镀到被镀零件表面的距离小于其平均自由程，保证膜料的分子或原子在蒸镀到被镀零件的表面之前免受残余气体或散乱蒸发分子的碰撞而改变运动方向，保持较大的动能，并有效的抑制蒸发材料与残余气体的反应，从而得到牢固、纯洁的薄膜。图1真空系统结构图3生产实习讲义真空度和平均自由程的关系可由(1)、(2)式给出：d/LN1/N0=1-e(1)L≈2/(3p)(2)其中：N0是初始被蒸发物质分子总数

8、，N1是在到达基片的途中与残余气体分子发生碰撞的分子数，L是平均自由程，d是蒸发源到基片的距离，P是残余气压。要达到较高的真空度通常是采用多级泵串连的方式来实现的。初级泵由机械泵来组成，用于抽低真空。二级泵由扩散泵组成，用于抽中高真空。（其它还有分子泵或冷凝泵等组成，用于抽高真空。）机械泵的工作原理是建筑在玻意耳－马略特定律的基础上的，根据这个定律有：PVRT（3）式中R是常数，P、V、T分别是气体压强、体积、绝对温度。在T