国内硅mems领域

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1、中国大陆已有100多家从事微米纳米技术研发的组织。同时，有超过50家的MEMS企业在近五年里成立和发展。其中，有两家具有代表性的企业：1、重庆金山科技（集团）开发了无线胶囊内窥镜系统，年销售量达到数万台，并且销售数百台大尺寸的生产设备。该公司拥有多项高技术方案，包括硅基微泵，胶囊内窥镜等，年产值达数亿人民币。2、位于江苏无锡的美新半导体有限公司（MEMSIC）发明了基于标准CMOS工艺的MEMS-IC加工工艺及相关测试技术，开发了20多种加速度传感器并已大规模生产，月产量达500万并应用了30多项专利。美新公司已于2007年12月1

2、5日在纳斯达克上式，融资1亿美元，市值达到2亿3千万美元。3、作为本土MEMS公司的典型代表，苏州敏芯微电子技术有限公司以其先进的技术、强大的资源整合能力以及新颖的商业模式尤其值得被关注。与多数MEMS初创公司采取独立设计、制造外包的Fabless（无生产线IC设计公司）模式不同，敏芯始终把自己定位为本土MEMS技术的输出者及MEMS产业资源的整合者。敏芯的核心技术从硅麦克风器件模型的建立、工艺制程到封装及测试均为独立研发。技术研发而非组织生产是敏芯的灵魂，所以敏芯乐于与传统的半导体厂商分享其技术成果，共同培育MEMS产业链。国内M

3、EMS现状(zz)今天在网上看到一篇文章，把国内MEMS发展现状总结了一下。个人感觉他总结的比较全面，但是具体对不对，有没有参考价值，我就真不太知道了。1、国内MEMS界的第一牛人当数复旦大学的鲍敏杭鲍老师。鲍老师做传感器做了十多年了，有深厚的理论基础和实际经验，目前是S&A和JMM两本杂志的refree吧，不知道是不是JMEMS的refree。印象中记得好像当过MEMSconference的审委。复旦现在是国内压阻方面的大拿，出了很多压阻是国内压阻方面的大拿，出了很多压阻方面的方面的人才。想想复旦的条件和他们做的成果，很是让人佩服

4、。2、国内目前（MEMS）工艺条件最好的当数北大，尤其是深槽刻蚀技术，已经张大成老师摸的很透彻，是世界水平。但是别的就一般了。北大的几样法宝：深槽刻蚀机，双面光刻机，和一套键和设备。目前已经开发出国内很流行的两套体硅工艺和一套单层多晶硅的表面硅工艺。但是北大做MEMS比较晚，97年才开始做MEMS。所以基础还比较薄弱，没有深厚的功底。北大目前在MEMSCAD方面也做了很多的工作，主要是973项目的任务。但是它的主要优势还是在加工工艺上。3、清华做MEMS的有微所和精仪的两拨人，都做的不错。清华微所和东南大学是国内最早做MEMS的单位

5、之二，所以基础比较雄厚。但是清华的硬件设施很好，所以也就能做出一些比较好的东西。象Microphone发表在JMEMS上，据我所知那是大陆唯一一篇发表在JMEMS上的文章。清华的主要目标好像是系统集成方面，在这方面投入的精力比较多。虽然清华微所没有专门的mems工艺线，但是清华微所的IC工艺线就是国外的大学也羡慕不已。所以清华微所有深厚的根基，良好的设备，充足的人才，前途远大。至于清华精仪系，周兆英老师做的微泵也很厉害，发表在MEMSConference上。另外精仪系在测试方面也很有一套。也属于很牛的级别。补充一下，清华的高钟毓老师

6、也是很牛的，这篇文章里面没有提。我的导师曾经带领我们去高老师那里参观过。高老师是一个很谦虚的人，我的论文评阅人就包括高老师。4、上海冶金研究所和北大一样，都是MEMS方面的暴发户，尤其抱上了江公子这条粗腿，近来在国内要风有风，要雨有雨，很是让人嫉妒。目前该所在MEMS方面发展飞快，也有一定的加工能力，测试也搞的不错。将来有可能成为国内MEMS的第一牛。因为有钱，就买的起设备，加上冶金所本来做IC的基础，和充足的人才，我估计他以后会很牛的。5、交大从一开始就比较悲惨，选了LIGA做研究方向，注定了他的坎坷命运。我去过他们的实验室，条件

7、不是很好。不过他们的陈笛老师还是想了很多办法，也做了很多事情。但是我不看好交大，我认为他们的LIGA做不下去，他们可能会向别的方面转移。6、该说说东南了。东南大学是国内最早做MEMS的单位之一。想必大家都知道黄庆安老师的小黄书了，到目前为止还是国内最好的MEMS中文参考书。据说当年黄老师贴了1万元出版此书。不能不说黄老师是国内MEMS的先驱。但是东南大学没有资金，这也是东南一直也没有在MEMS方面发展的很壮大的原因。据说，东南现在把重点放到了不太耗资金的MEMSCAD方面。不能不说黄老师眼光独具。7、说了东南，再说说西安交大。西安交

8、大也有在做MEMS的，做的也比较早，但是一直也没有做起来。我只知道他们在压电方面做过一些不错的东西。8、再说说别的学校。哈工大也在做MEMS，但是给我印象比较深的是他们在电化学腐蚀方面好像在国内比较领先，别的没有什么很深的印象。中科大