真空系统抽气特性计算软件设计

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1、中文摘要1英文摘要21绪论31.1引言31.2课题意义及目标32真空系统抽气特性计算及分析42」真空系统抽气特性计算42.1.1低真空阶段计算一一大气到IPa42.1.2高真空阶段计算一一IPa以下42.2高真空阶段两种算法的比较62.2.1计算对比62.3抽气特性计算程序化可行性分析62.4高真空阶段计算方法选择73软件功能需求及平台分析83.1总体构架分析83.2需求分析83.3开发语言及环境分析93.3.1相关术语介绍94软件设计114.1总体设计114.2界面设计（输入模块）124.2.1预设模型选择124.2

2、.2真空容器设定124.2.3抽气特性模型134.4.4输入计算参数144.3数据模块154.3.1模块说明154.3.2单例模式154.3.3模块结构164.4计算模块164.4.1模块设计分析164.4.3计算模块流程图174.4.2计算类代码说明174.5导出模块224.5.1导出方案分析224.5.2导出模块实现234.6其他辅助模块234.6.1数字格式化模块234.6.2文件读写模块244.6.3抽气节点排序模块245设计结果255」设计结果255.2计算结果验证255.2.1例证1255.2.2例证225

3、523综合对比及结论26结论27谢辞28［参考文献］29摘要：近年来，随着航天和空间科学的发展及真空在原子能科学和表面物理、微电子学等学科中的应用，真空系统设计也越来越普遍。而在真空系统的设计中,抽气特性计算是其中必不可少的一项重要内容，同时也是一个十分繁杂的过程——在其计算当中往往要设计相当多的参数，如：抽速曲线，容器尺寸，材料放气率等，有时甚至要反复尝试各种参数使设计的真空系统满足要求。这种情况下，有必要对真空系统抽气特性计算进行计算机自动化编程。本文介绍了一种真空系统抽气特性计算的软件的设计过程,通过逻辑分解，将

4、计算过程分解,使其可用于计算真空系统从某状态达到目标状态大致所需的时间，简化繁琐的手工计算，提高工作效率，为真空系统设计提供帮助。关键词：真空系统抽气特性计算软件Abstract：Inrecentyears、withthedevelopmentofaviationandspacescienceaswellastheadhibitionofvacuuminatomicenergyscience,surfacephysicsandmicroelectronics,etc,thedesignofvacuumsystemism

5、oreandmoreuniversal.Inthedesignofvacuumsystem,calculationofpumpingcapabilityisoneoftheessentialprocedureswithcomplicatedprocess—alwaydemandquiteanumberofparametersdesignsuchaspumpingspeedcurve,containersize,andmaterialsoutgassingrate、etc.Sometimesitrequiresrepet

6、itivetryofallkindsofparameterinordertomakeitmeetdemand.Underthiscircumstance,it'snecessarytoautomatethecomputerprograminpumpingcapabilitycalculationofvacuumsystem.Thispaperintroducesasoftwaredesignprocessofpumpingcapabilitycalculationofvacuumsystem,whichdecompos

7、ethecalculationprocessvialogicaldecompositioninordertoenableittocalculatethetimethevacuumsystemtakesfromoneconditiontoobjectivecondition.Thus,itcansimplifyhandcalculation.improveworkefficiencyandofferhelptodesignvacuumsystem.Keywords：VacuumsystemPumpingcharacter

8、isticscalculationsoftware1.1引言真空系统：是由真空泵、真空计、被抽容器及其它元件如真空阀门、冷阱等，借助于真空管道，按一定要求组合而成，并具有所需抽气功能的抽气装置。它的职能是在指定的时间、空间内获得真空，保持真空，确保系统内某项工艺过程或物理过程的实施。真空系统广泛应用于各个行业，其应用有：化工及制药