基于流道表面微纹路的微流控混合芯片的设计与制作

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1、摘要摘要微流控芯片因其分析灵敏度高，输出通量大，分析过程可自动化同时大规模制造成本低廉的优势，近年来在化学，生命科学以及医学等领域得到快速发展。然而由于流道尺寸的减小导致微流道内流体呈现层流状态，引发了微尺度下液体难以混合的问题。微流控芯片中不同液体的充分混合作为实现芯片功能的基本前提，开发快速高效的微混合器非常必要。本文利用氧等离子照射施加预应力弹性基底的方法在微流道的底部制作大面积有序的微纹路。经过微纹路的流体因产生横向的混沌涡流破坏流体的层流状态，达到提高混合效率的目的。本文首先根据三明治复合结构材料的褶皱形成理论，得出微纹路波长和幅度的计算公式，并做为后续微纹路制作的指导公式。利

2、用专门制作可施加两个方向预应力的夹具在平整的PDMS样品上通过改变氧离子照射时间制作出多种形貌的微纹路。根据所得的微纹路幅度，表面形貌，样品平整度以及微纹路形貌对液体混合效率的影响等多种因素确定微纹路制作的参数。然后，本文依据混沌对流式微混合器的设计理论，设计并制作出蛇形和螺旋形两种流道形状。依据已确定的微纹路制作参数在刻蚀有流道的PDMS表面制作微纹路。制作时引入了弹性掩模版解决带有微纹路的微流控芯片的漏液问题。最后在微流控芯片中注入蓝黄两色纯净水，利用图像处理软件分析并计算不同形状的流道出口处绿色混合区域占流道宽度的比值，定量表征不同流道形状以及微纹路制作前后微混合器的混合效率。关键

3、词：微流控芯片，微混合器，微纹路，混沌对流，混合效率IABSTRACTABSTRACTDuetoitshighanalyticalsensitivity,largethroughput,automatableanalysisprocessandlowcostderivesformmassproduction,microfluidicchiphasbeengreatlydevelopedamongchemistry,bioscienceandbiomedicineinrecentyears.However,thelaminarflowinmicrochannel,causedbythesc

4、alereductionofflowchannel,leadstothedifficultyofmixinginmicrofluidicchip.Sincemixingplaysasignificantpartinrealizingthevariousfunctionsofmicrofludicchips,itthenseemsquitenecessarytodevelophighlyefficientmicromixer.Inthispaper,micropatternswithlargescopeandwellorderarefabricatedonthebottomofchanne

5、linmicrofluidicchipbyoxidizingthepre-strainedelasticsubstrateusingoxygenplasma.Whenliquidflowspastthemicrochannelwithmicropatterns,thelateralchaoticvorticeswillbegeneratedinchannelanddisruptthelaminarflow,thenthemixingintensitycanbeincreasedradically.Thispaperfirsthammersouttheformulasofamplitude

6、andwavelengthofone-dimensionalmicropatternwhichwilllaterguidethewrinklepatternfabricationfromthetheoryofwrinkleformationinsandwichpanel.Byalteringtheoxygenplasmatreatingtimeandusingcustomizedclamp,multitudinousmicropatternsareproducedonflatPDMSsheets.Accordingtothefactorslikepatternamplitude,surf

7、acetopography,sampleflatnessaswellastheeffectofpatternshapeonmixingefficiency,fabricationparametersofmicropatterncanbedetermined.Thentheserpentineandspiralmicrofluidicchannelsaredesignedandmanufacturedbyvirtueofthetheo