带有力反馈系统的微加工头的研制

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1、哈尔滨工业大学工学硕士学位论文目录摘要...............................................................................................................................IABSTRACT.....................................................................................................................II第1章绪

2、论................................................................................................................11.1课题背景及研究的目的和意义...........................................................................11.2微纳米机械刻划加工装置的研究现状及分析..................................................

3、.21.2.1纳米加工的方法............................................................................................21.2.2微纳米机械刻划加工装置的研究现状........................................................31.3本文的主要研究内容.................................................................................

4、..........6第2章带有力反馈系统微加工头的建立....................................................................82.1引言.......................................................................................................................82.2系统的构成和加工原理...........................................

5、............................................82.2.1装置的加工原理............................................................................................82.2.2装置的系统构成............................................................................................92.2.3力测量装置的原理..........

6、............................................................................102.2.4微位移台的原理...........................................................................................112.2.5微探针及其夹具的设计..............................................................................12

7、2.2.6XY向移动台的工作原理............................................................................132.3控制系统的硬件研制.........................................................................................142.3.1控制系统的设计原理...................................................................

8、...............142.3.2控制系统的硬件设计.......................