预见控制在宏微执行器中的应用

《预见控制在宏微执行器中的应用》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、⑧论文作者签名：指导老师签名：论文评阅人l：评阅人2：评阅人3：评阅人4：答辩委员会主席：委员1：委员2：委员3：委员4：甚力莶查萱!熬援3逝江太堂．鱼筮量整邀拯蜇江太堂堑蠢筮!副敦援3浙江太堂垂蟹!副班究虽3逝江太堂里醴丑曼翌￡Q娶!蛩丛垡壁坠墨!：星垫2金△￡!望垒主Q竖⑧Author’ssignature：Supervisor’ssignature：邋次E)(1emalReviewers：HaitaoZhaagXProfessor＼CCUSAnonymityExaminingCommitteeChairperson：ZhiyunLin

2、}Professor＼ZJUExaminingCommitteeMembers：MinyueFutProfessorUZJUQinminYang、&ssociateProfessorUZJUZhiWang＼AssociateReseacherUZJUDateoforaldefenee：2014—3—7独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得逝鎏盘堂或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我

3、一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。学位论文作者签名：乞匆签字日期：即I牛年弓月7日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解迸至三盘堂有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权逝望盘堂可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后适用本授权书)学位论文作者签名：乞力导师签名：彩0欲趴签字日期：矽}丫年弓月7日签字日期：炒7牟年3月7日学位论文作

4、者毕业后去向：工作单位：通讯地址：电话：邮编：致谢时光荏苒，岁月如梭，两年半的硕士研究生活即将画上圆满的句点，仔细回顾这两年半丰富多彩的学习研究生活，我经历了很多，学习了很多，同时也成长了许多。首先我要感谢我的导师付敏跃教授，本论文是在付老师的悉心指导与亲切关怀下完成的。感谢付老师为我提供了充足的科研经费，良好的科研条件与轻松自由的学习环境和氛围，这些都使我的科学研究得到了最大限度的帮助。从课题的开始到结束，付老师在各个方面都给予了细心的指导和启发，当遇到困难时，付老师总能耐心的跟我讲解，启发，指导我解决问题，这不仅使我学到了科学分析问题和

5、解决问题的方法，培养了独立科研的能力，同时锻炼了思维，开阔了视野，并且不断地促使我学习新的知识，拓宽了知识的广度。付老师深厚的学术造诣，严谨的治学态度，勤勉的工作精神让我深感敬佩，同时付老师的宽厚真诚，平易近人的人格魅力，让我倍感温暖。在此，谨向付老师表示最崇高的敬意和最真挚的感谢。衷心感谢徐正国副教授和郑金川副教授的亲切关怀与指导，感谢你们在我的科学研究工作中提出宝贵的指导建议和给予我的最大的帮助。衷心感谢实验室的所有成员，感谢田秘书，朱润，任宁，隋天举，刑浩，牟玉亭，是你们营造了一个和谐的大家庭，让我的学习与生活倍感愉悦。感谢你们在我遇

6、到困难时给予建议与帮助，由衷的祝你们生活幸福，学业有成!感谢我的室友卢艺楠，方晟，赵二阳以及我的女朋友钟媛，感谢你们两年半的陪伴，让我的学习生活充实愉悦．最后，由衷地感谢我的父母。正是他们对我的理解，支持与鼓励，以及对我无私的关怀与帮助，使我顺利完成学业。即将奔赴工作岗位，我的学生时代也随之即将结束，对浙江大学这片热土，我深深地不舍。在求是园，我度过了两年半青春年华，这里有我所有美好的青春回忆，这段在浙江大学的学习与生活记忆将是我人生最大的宝藏。最后感谢所有帮助过我的老师，同学和朋友们，谢谢你们!王力二零壹肆年壹月致谢Ⅱ摘要近年来宏馓执行器

7、(dual-stageactuatorssystem—DSA)作为一种受到广泛关注的高精度装置，其具有定位精度高、行程范围广、鲁棒性强等优点，已被广泛地应用于机械硬盘、电子扫描仪、光栅刻画机和微型机器人等精密工程领域。随着科技的发展，对于执行器的控制精度要求也越来越高。当今机械磁盘的存储容量成倍提升，磁道之间的间隙越来越小，如何提高磁头的定位速度。在纳米技术风靡全球的二十一世纪，如何提高电子扫描仪的扫描精度。这些问题都亟待克服。本文通过在宏执行器中引入预见控制(previewcontr01)来提高宏／微执行器的定位速度和扫描精度，预见控制通

8、过获取未来运动与干扰的信息并利用其进行补偿控制，改善了受控对象性能，它能达到比传统控制更佳的效果。文中针对宏臌执行器的两种常见应用一定位和扫描分别设计预见控制，提高了系统的定位速