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时间:2019-03-01
《多弧离子镀氮化物薄膜的性能及应用》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、大连理一人学硕+学位论文摘要本文综述了多弧离子铖沉积技术的原理和发展,阐述了多弧离子镀沉积技术在¨p方面的应用。介绍了多弧离子镀殴箭构成,并以cr、Ti、TiAI靶为例,测量了实验系统中影II向沉积薄膜性能的有关参数。采用多弧离子镀沉积Cr-N、TiAlN硬质薄膜,分折了不同参数对薄膜结构和性能的影响,例如N:—船气氛比,衬底偏压,弧电流等。分析结果表明,C卜N薄膜显著提高了基体的显微硬度和涮磨性,Cr—Nj}删}{硬度是基底硬度的4.8倍。X射线衍射谱表明,随着氮气含量的提高,Cr-N薄膜『
2、≈棚结构毁乍改变,从单相Cr-Cr2N,然后过渡到&jN+CrN,
3、最后到单相CrN。’实验维粜1:螋与选择的气氛比有关。而剥J1TiAIN来
4、兑,沉积薄膜中主要以TiAIN与11i2AIN为扎也岔fJAIN与TiN,A1列薄膜碰f复的影响是由于Al原予的加入改变了薄膜的纠I纵?削’,j所造成的。偏压对制备的C1-N薄膜的硬度影响较小。弧电流对硬度的影ll向较人,'jsi.tIU流增加,薄膜的硬度降低。分析认为,弧电流增大,金属粒子的数量增加,金槭牲r平¨N粒子相对含量发生变化,从而导致薄膜的微观结构发生改变。刘Cr-N薄膜进行X!;¨线衍射分析.结果表明,弧电流增大,Cr.N薄膜x射线的主峰由C1‘N圳坐为Cr桐,关键词:多
5、弧离子镀、Cr一\薄膜、TiAIN薄膜、收集电流密度、结合力多弧离子镀氮化物薄膜的性能及应用Theperformanceandtheapplicationofthemetalnitridethinfilmbymulti—arcsionplatingThedepositionprincipleanddevelopmentofmulti‘arcionplatingtechnologyareintroducedinthispaper.nleindustrialapplicationofthisdepositiontechnologyisalsodescribed.n
6、estructureofthisionplatingequipmentisrecited.111eeffectsofsomeparametersonthefilmsarestudiedusingCr,TiandTiAlasthetarget.Cr-NandTiAlNfilmsaredepositedinthisequipment,theinfluencesofdepositionparametersonthestructureandpropertiesofthefilmsareanalyzed,suchastheratio&gas(N2andAr),arccu
7、rrent,andbiasvoltage.TheresultsshowthatthehardnessandthewearresistancepropertyofthefilmsandthatsubstmtesareimprovedbydepositingCr-Nfilms.XRDanalysesindicatethatwiththeincreasingoftheratioofN2,thes仃ucturesoftheCr-NfilmsarechangedfromCrtOCr2N,thenCr2N+CrN,finallyCrN.,itispossibletober
8、elatedtotheN2ratioofthemixinggas..ButsaidregardingTiAIN,indepositionthinfilmmainlyiscomposingofTiAlNandTi2A1Nprimarily,alsoincludesA1NandTiN,alongwiththeNzflowcapac耐increase,itsmicrohardnessandthebindmgenergyallchangesslightly.捌totheinfluenceofthinfilmhardnessisbecausethe舢atomjoined
9、changesthethinfilmstructuretocr钮te.Intheexperiment,biasvoltagehaslittleeffectonthehardnessofCr-Nfilms,whilearccurrentisthemainparametertocontrolthehardnessofCr_Nfilms.T№higherthearccurrentis.thelowerthehardnessis.ItisbecausethatthemainstructuresofthefilmschangefromCrtoCrNwhenarccurr
10、entdecrease.KeyWord
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