硅片规格说明书

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1、硅片产品规格说明书一、目的和用途：加强对硅片的供方管理和质量管理二、适用范围：适用于125×125单晶，156×156多晶硅片三、各项指标：项目方法标准工具外包装SF/03-JY-026外包装完整，防摔、污、潮的措施完备目测外形尺寸125×125或156×156见方尺寸　允许误差±0.5mm　硅片对角线误差±0.5mm　所检每片硅片的平均厚度≥170μmMS-203所检每片硅片的平均厚度值：基本尺寸±20μm　所检硅片总体平均值允许误差：±10μm　硅片（同一片厚度）TTV≤30μmMS-203两个边的垂直度90°±0.3°　硅片无目

2、视翘曲（翘曲度≤15μm）目测、塞尺倒圆角误差≤0.5mm模板外观检验表面：洁净无残留硅粉，无污染、色斑、颜色均匀一致，无目视可见破损及针孔目测油污：面积小于20%且手套擦拭后变为较淡目测线痕深（高）度≤10μm，整个硅片最多一处线痕千分尺晶粒（多晶片）：在1cm长区域，晶粒个数小于10个。　硅片无可视裂纹、无应力　无明显缺角、崩边（亮点）　不允许有“V”字形缺口　导电类型P型RT-110碳浓度≤5×1016/cm3　氧浓度≤1×1018/cm3　晶向（100）±3°　位错密度3×103个/cm2　电阻率0.5～3Ω．cm四探针测试仪

3、3～6Ω．cm少子寿命单晶：≥15μs少子寿命仪多晶：≥10μs试制检验单200μm以上厚度：试制平均效率≥16.03%，碎片率≤3.0%，G档率≤1.5%，合格率≥93.5%，300≤批量≤2400片试制检验晶180μm厚度：试制平均效率≥16.03%，碎片率≤4.0%，G档率≤1.5%，合格率≥92.5%，300≤批量≤2400片多晶200μm以上厚度：试制平均效率≥15.1%，碎片率≤3.5%，G档率≤1.5%，合格率≥93%，300≤批量≤2400片180μm厚度：试制平均效率≥15.1%，碎片率≤4.0%，G档率≤1.5%，

4、合格率≥92.5%，300≤批量≤2400片