冷场发射扫描电镜维护

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1、Marketing天美（中国）科学仪器有限公司TECHCOMP(CHINA)LTD.中国北京朝阳区天畅园7号楼1、3层TEL:010-64010651FAX:010-64060202E-MAIL:techcomp@techcomp.cn冷场发射扫描电镜维护日常保养和维护的目的：最大限度消除扫描电镜的干扰因素，使其处于最佳的工作状态，获得良好的图像质量和分析结果。同时可以通过日常维护保养，能够及早发现和解决潜在问题。冷场扫描电镜日常保养维护内容：1.冷却循环水机维护：每月检查一次，记录是否下降并及时补充，换水以及清洗过滤网（频率：一年一次以上）2.空气压缩机维护：放水（频率：一个

2、月一次以上），见图一图一：循环水机和空气压缩机3.机械泵、干泵维护：机械泵：半年一次以上，当机油雾收集器附着油液或有油烟时立即更换。当油的颜色变为茶色时或换油过了六个月时：停机→交换油→开机Marketing天美（中国）科学仪器有限公司TECHCOMP(CHINA)LTD.中国北京朝阳区天畅园7号楼1、3层TEL:010-64010651FAX:010-64060202E-MAIL:techcomp@techcomp.cn干泵：一年一次，委托售后人员维护保养。4.烘烤与机械对中（频率：一年一次以上）烘烤流程：拆下最上端电磁罩→拆下电子枪→取下镜筒罩→装上Outer加热器→装上I

3、nner导线→把两对导线连接到后面板→放置高温注意牌提醒→前面板定时→开后面板总开关→开始烘烤→结束机械对中流程：1KV，flashing，记录电流值及IP值→软硬件光阑归零→空样品台加高压→选软件Align调光斑→机械调整→聚光镜光阑对中→物镜可动光阑对中→象散对中→完成图二：机械泵及内外烘烤装置5.紧急停电关机处理紧急关机在紧急情况下，按下红色EMERGENCYOFF按钮顺时针旋转到底，系统关机后，将各开关按钮拨至正常停机位置。短时间关机退出PC_SEM程序→退出系统→关闭DISPLAY→关闭EVAC→等待Marketing天美（中国）科学仪器有限公司TECHCOMP(CH

4、INA)LTD.中国北京朝阳区天畅园7号楼1、3层TEL:010-64010651FAX:010-64060202E-MAIL:techcomp@techcomp.cn约35分钟后MultiIndicator区域显示“POFF”→关闭MAINSWITCH→关闭电源总开关。6.长时间停机程序1.先关闭HV和PC，然后关闭DISPLAY，关闭STAGE；2.将EVACPOWER拨到O（OFF），等待35分钟，真空系统（离子泵停下来后分子泵会停）停止。面板上显示有“POFF”字样；3.将IP1，IP2，IP3都拨到OFF档；4.将关闭IP，EVAC，DISPLAY与OUTERBAKA

5、E，然后关掉MAINbreaker;5停止循环水机工作。7.开机程序1.在DISPLAY后面，先将MAINbreaker开关处于ON，同时，一边手按住RESET；2.开IP，EVAC，DISPLAY；3.将真空操作面板的IP1，IP2，IP3都拨到ON档；4.将EVACPOWER拨到ON，注：从抽真空到完成需1小时；然后APTHEATER拨到AUTO档.5．等样品室与离子泵的真空恢复正常后，打开循环水机；6.开STAGE,并将DISPLAYPOWER打开，即处于ON；7.加压，观测样品的图像.