基于差分干涉的工作台直线度动态测量系统分析

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1、华中科技大学硕士学位论文目录摘要.....................................................................................................................IAbstract.................................................................................................................II1绪论1.1本课题目的

2、和意义..........................................................................................11.2工作台运行直线度动态测量的研究现状......................................................11.3本文的主要工作.........................................................................................

3、.....71.4课题来源...........................................................................................................82工作台运行直线度动态测量系统原理与总体设计2.1工作台运行直线度动态测量系统总体设计..................................................92.2差分干涉测量原理..........................................

4、...............................................112.3本章小结.........................................................................................................163工作台运行直线度动态测量装置设计及信号处理3.1测量装置光学器件选择......................................................................

5、..........173.2测量装置传感器............................................................................................233.3测量装置机械结构设计................................................................................253.4信号处理电路................................................

6、................................................263.5本章小结.........................................................................................................274系统软件4.1系统软件流程..........................................................................................

7、......284.2软件框架设计................................................................................................294.3软件功能和界面............................................................................................29III万方数据华中科技大学硕士学位论文4.4本章总结.......................

8、..................................................................................385实验测试5.1实验设计............................