光学气浮隔微振平台技术基本要求

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1、ICS17.020A52备案号：DB23黑龙江省地方标准DB23/XXXXX—XXXX光学气浮隔微振平台技术基本要求OpticalplatformwithairfloatingvibrationtechnologybasicrequirementsXXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施黑龙江省质量技术监督局发布DB23/XXXXX—XXXX目次前言III1　范围12　规范性引用文件13　术语和定义14　型式与基本参数24.1　分类24.1.1　控制类型24.1.2　平台结构类型24.2　基本参数24.2.1　供气气源参数24.2.2

2、　供电电源参数25　技术要求25.1　正常工作环境条件要求35.2　外观和结构要求35.3　固有频率35.4　振动传递率35.5　平台表面平面度35.6　承载35.7　平台浮起不感带范围35.8　平台浮起稳定时间46　检验条件47　检验方法47.1　外观质量47.2　外形尺寸47.3　隔振性能指标检验方法47.3.1　固有频率检验47.3.2　振动传递率：57.4　平台浮起不感带57.5　平台表面平面度58　产品出厂检验59　标志、包装和使用说明书59.1　标志和标签59.1.1　每个产品应有铭牌或相当于铭牌的标志，应清晰、牢固地标明下列内容

3、69.1.2　所有标志均应规范、清晰和持久67DB23/XXXXX—XXXX9.2　产品使用说明书69.3　包装和运输69.3.1　包装69.3.2　运输77DB23/XXXXX—XXXX前言本标准编制过程中主要依据GB/T1.1-2009进行。本标准为新制定标准，目前没有与之等同的国际标准、国家标准及行业标准。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准规定了本系列产品生产过程中应共同遵循的基本原则。本标准的目的在于帮助读者对光学气浮隔微振平台标准的使用有一个基本了解。本标准提出并定义了用于光学气浮隔

4、微振平台的通用概念。本标准对制造商进行光学气浮隔微振平台特性评价并提出技术要求有指导意义。本标准对制定光学气浮隔微振平台标准有指导作用。在阅读或使用光学气浮隔微振平台标准时应随时参考本标准。本标准由黑龙江省质量技术监督局提出并归口。本标准负责起草单位：哈尔滨工业大学、国家量仪产品质量监督检验中心。本标准参加起草单位：哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司。本标准主要起草人：谭久彬、王雷、韩正阳。本标准参加起草人：赵勃、崔俊宁、田丰。7DB23/XXXXX—XXXX光学气浮隔微振平台技术基本要求1　范围本标准规定了光学气浮隔微振平台的术语和定义、

5、型式与基本参数、要求、检验方法、标志与包装等。2　规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T23717.1-2009机械振动与冲击装有敏感设备建筑物内的振动与冲击第1部分：测量与评价。GB/T23717.2-2009机械振动与冲击装有敏感设备建筑物内的振动与冲击第2部分：分级。GB/T14412-2005机械振动与冲击加速度计的机械安装。GB50463-2008隔振设计规范。GB/T20029仪器、设备用橡

6、胶隔振垫。GB/T12085.13-2010光学和光学仪器环境试验方法第13部分：冲击、碰撞或自由跌落与高温、低温综合试验。GB/T11337-89平面度误差检测。3　术语和定义JJF1001-2011、GB/T17163-2008及Internationalvocabularyofmetrology-Basicandgeneralconceptsandassociatedterms(VIM)中确立的以及下列术语和定义适用于本标准。3.1隔振器vibrationisolator具有衰减振动功能的支承元件。3.2阻尼器damper能量损耗的方法

7、减小振动幅值的装置。3.3振动传递率vibrationtransmissibility在正弦扫描振动时，某一频率下振动系统的输出量（力、位移、速度或加速度）与同量纲的输入量的比值。对于非线性隔振系统还应注明振动输入的量级。3.4固有频率naturalfrequency由系统本身的质量和刚度所决定的频率。7DB23/XXXXX—XXXX3.5平台浮起不感带non-operationbandofairbearingvibrationisolation平台浮起后各支撑点的高度差。1　型式与基本参数1.1　分类1.1.1　控制类型a)主动控制类型设备

8、装置中包含有位移执行器、位移传感器、加速度传感器和气压压力计等；控制系统根据平台台面或地面上的振动信号（幅值、速度或加速度）控制位移执行器抑制振动信号。b)被动控制