基于vi载流子迁移率测试系统研制

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1、XTabDrag:http://www.taobao.com/硕士学位论文题目基于VI的载流子迁移率测试系统的研制英文题目DevelopmentofMeasurementSystemforChargeCarrierMobilityBasedonVirtualInstrument姓名汤震学号10808094所在学院理学院导师姓名邱桂明副教授专业材料物理与化学入学日期2008年9月答辩日期2011年6月学位论文原创性声明本论文是我个人在导师指导下进行的工作研究及取得的研究成果。论文中除了特别加以标注和致谢的地方外，不包含其他人或其它机

2、构已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在论文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律责任由本人承担。作者签名：日期：年月日学位论文使用授权声明本人授权汕头大学保存本学位论文的电子和纸质文档，允许论文被查阅和借阅；学校可将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或其它复制手段保存和汇编论文；学校可以向国家有关部门或机构送交论文并授权其保存、借阅或上网公布本学位论文的全部或部分内容。对于保密的论文，按照保密的有关规定和程序处理。作者签名：导师签名：日期：年月日日期：年月日中

3、文摘要中文摘要载流子的迁移率是半导体材料的重要特性参数。通过对迁移率的测量，可以准确掌握不同材料的电输运特性。因此，方便、准确地测量半导体载流子的迁移率，对半导体的研究和生产都具有重要的意义。随着科学技术的进步，出现了新的测试仪器——虚拟仪器。虚拟仪器是基于计算机的测试平台，具有交互式的图形界面。由计算机、应用软件和硬件组成，通过软件把计算机硬件资源和仪器硬件有机融为一体。本文介绍了虚拟仪器的发展和LabVIEW相关知识。本文分析了几种传统的测量半导体载流子迁移率的方法和仪器。针对传统方法和仪器存在的测试条件苛刻、精度不高、设备昂

4、贵等缺点，文中根据线性增压载流子瞬态谱这一原理，以LabVIEW为平台设计了一种半导体载流子迁移率测试系统。详细介绍了该系统各部分的硬件组成，详细论述了系统软件的各功能模块的设计和实现方法，其中包括线性增压控制模块、数据采集、数据存储与回放等功能模块。最后，对该半导体载流子迁移率测试系统进行了调试和测试实验，并对测试结果进行了分析。实验结果表明，所研发的测试系统，运行稳定，使用简单方便，具有良好的数据保存、回放及数据图形显示功能，同时软件具有参数设置灵活，可二次开发的优点,具有一定的实用价值和发展前景。关键词：虚拟仪器；LabVI

5、EW；CELIV；迁移率IAbstractAbstractCarriermobilityisoneofthemostimportantcharacteristicparametersofsemiconductorsfromwhichtheelectrontransportpropertyofmaterialscanbeobtained.Therefore,themeasuresofthecarriermobilityareveryimportantfortheresearchandproductionofthesemiconduc

6、tormaterials.Withthedevelopmentofscienceandtechnology,anewkindofinstrumentcalledvirtualinstrumentsappears.Avirtualinstrumentisasystemwithinteractivegraphicinterfacesbasedoncomputers.Itconsistsofacomputer,applicationsoftwares,andinstrumenthardwares.Itsdevelopment,refle

7、ctedbyoneofthefamousproducts,LabVIEW,willbeintroducedbriefly.Inthispaper,severaltraditionaltestingmethodsandinstrumentsforthecarriermobilityareintroducedanddiscussed.Tosolvetheproblemssuchaslowaccuracy,rigorousrequirementsandhighcostcomingfromthetraditionalinstruments

8、,ameasuresystemisdevelopedforthecarriermobilityaccordingtothemethodofcarrierextractionbylinearlyincreasingvoltage(CELIV),reg