基于共光路光束漂移测量和同步补偿激光自准直技术

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1、国内图书分类号：TH741.1学校代码：10213国际图书分类号：681.7密级：公开工学博士学位论文基于共光路光束漂移测量与同步补偿的激光自准直技术博士研究生：朱凡导师：谭久彬教授申请学位：工学博士学科：仪器科学与技术所在单位：超精密光电仪器工程研究所答辩日期：2013年10月授予学位单位：哈尔滨工业大学ClassifiedIndex:TH741.1U.D.C:681.7DissertationfortheDoctoralDegreeinEngineeringLASERAUTOCOLLIMATIONTECHNOLOGYBASE

2、DONCOMMON-PATHBEAMDRIFTMEASUREMENTANDSYNCHRONOUSCOMPENSATIONCandidate：FanZhuSupervisor：Prof.JiubinTanAcademicDegreeAppliedfor：DoctorofEngineeringSpeciality：InstrumentScienceandTechnologyAffiliation：CenterofUltraprecisionOptoelectronicInstrumentDateofDefence：October,2

3、013Degree-Conferring-Institution：HarbinInstituteofTechnology摘要摘要激光自准直技术是精密小角度测量的重要手段，具有测量分辨力高、测量距离远、非接触、使用方便等优点，在精密装备制造、光学元器件加工与检测、大型结构件装配、航空航天设备的瞄准与标校以及科学研究等领域具有重要应用。激光自准直由于激光发光机理以及光束传输路径中空气介质不稳定性导致的激光光束方向漂移而普遍存在测量稳定性较差的问题。激光光束的方向漂移是制约提高激光自准直小角度测量稳定性的主要障碍。本课题“基于共光路光

4、束漂移测量与同步补偿的激光自准直技术”，在对自准直几何光学模型研究的基础上，分析激光自准直中激光光束漂移对自准直的影响机理，寻找从根源上减小激光自准直漂移的途径，并提出激光自准直中共光路光束漂移测量方法，结合高频响与高灵敏度光束方向偏转技术对光束漂移进行同步补偿，达到提高激光自准直小角度测量稳定性的目的。论文主要研究内容为：针对传统自准直模型参数过于简化而无法从理论上对自准直系统的影响因素进行有效分析的问题，建立了基于光线追迹法的自准直几何光学模型，能够完整地阐述自准直中各参数之间的关系。利用该模型对自准直系统中反射镜二维角度耦

5、合、物面与像面离焦、以及照明光源的角漂移量对自准直小角度测量的影响进行仿真分析，结果表明，当物点位于准直物镜焦面并且距离光轴±5mm范围内时，在±2000″范围内反射镜二维角度耦合的影响量最大为0.7170″；物面与像面在±2mm范围内离焦时，在±2000″内影响量最大为4.3540″；在物面与像面离焦以及准直物镜孔径面光强分布不均匀的情况下，照明光源的角漂移量在±10″内对自准直小角度测量的影响量可以达到0.0182″。在此基础上进一步分析激光自准直中分辨力的影响因素，研究采用长焦距准直物镜和光学放大法提高自准直小角度测量的分

6、辨力。针对激光基准精密小角度测量中激光光束的漂移与被测角度耦合而难以将二者有效分离的问题，提出激光自准直中基于组合靶标以及基于平面镜参考靶标的共光路光束漂移测量方法，方法中利用组合靶标或平面镜参考靶标，在自准直过程中产生一束参考光束，参考光束与测量光束来源于同一光源并且共光路传输，因而二者具有一致的角漂移量；由于组合靶标或平面镜参考靶标的固有特性，参考光束对组合靶标或平面镜参考靶标的角度偏转不敏感，因此可以利用参考光束精确获取测量光束的角漂移量，进而对其进行同步补偿，提高激光自准直小角度测量的稳定性。-I-哈尔滨工业大学工学博士

7、学位论文针对激光光束漂移量闭环控制中光束方向偏转装置的高频率响应与高角位移灵敏度相兼顾的问题，提出两种基于柔性铰链结构的光束方向偏转方法，通过建立其动力学模型，利用拉格朗日方程分析其固有频率随结构参数的变化关系，为优化其结构参数、在高角位移灵敏度的情况下提高固有频率提供理论依据；并且提出一种基于反射镜平动的光束方向偏转方法，通过压电陶瓷驱动反射镜平动实现光束的角度偏转，无机械摩擦与传动损耗，运动惯量小，因而具有非常高的角位移灵敏度与频率响应特性。实验结果表明，基于柔性铰链结构设计的两种光束方向偏转方法的角位移分辨力均可以达到0.

8、003″，基于反射镜平动的光束方向偏转方法角位移分辨力优于0.002″，频率响应特性可以达到2000Hz以上。最后，对研制的基于共光路光束漂移测量与同步补偿的激光自准直实验装置及其各主要组成单元的性能进行测试，包括光学放大法的有效性测试、光电检测电路的分辨力测试