异质结双极型晶体管的制备与研究

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1、分类号：UDC：编号：异质结双极型晶体管的制备与研究THEFABRICATIONANDSTUDYOFBIPOI。ARTIiANSISTORSBASEDONHETERO儿眦TION学位授予单位及代码：长春理工大学(10186)学科专业名称及代码：邀皇王堂皇固签皇王堂(QZZ圣Q圣2l帅Y帅2灿5帅3吣眦0娜2必9m0删长春理工大学硕士(或博士)学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的硕士(或博士)学位论文，《异质结双极型晶体管的制备与研究》是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何

2、其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名：左!堑之监=_年上月丝日长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和CNK[系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索

3、，也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。作者签名：址导师签名：缝翌竖年立月幽日Ⅻ年』月边日摘要使用有机材料制备的半导体器件因其具有成本价格便宜、加工温度低、能够实现大面积制备加工、可与柔性衬底集成等优点，被广泛的应用在有机薄膜晶体管、有机发光二极管、有机光伏电池等器件中。有机双极型晶体管现在已成为研究的热点，其在有机集成电路和柔性平板显示上都有着广阔的发展前景。由此我们开展了对有机异质结VOPc／C60双极型晶体管的制备和研究。本论文主要研究利用真空蒸镀技术制作双极型有机薄膜晶体管，研究VOPc膜厚及基底温度对有机薄膜晶

4、体管特性的影响。我们通过对晶体管性能表征和测试数据的分析，得到在不同条件下器件性能的变化。通过实验我们成功的制备出了器件性能较好的有机异质结VOPc／C60双极型晶体管。分析了第一层薄膜层厚度和基底温度对双极型器件性能的影响，通过优化实验条件获得了载流子平衡的双极型器件。关键词：有机异质结双极型晶体管薄膜厚度ABSTRACTPreparationofsemiconductordevicesusingorganicmaterialshavingmanyadvantages，costinexpensive、lowprocessingtemp

5、erature、theprocessingcanbepreparedinalargearea、integratedonaflexiblesubstrate，Etc．ThisdeviceISwidelyusedinorganicthinfilmtransistors，organiclightemittingdiodes，organicphotovoltaiccellsandotherdevices．Organicbipolartransistorhasnowbecomeahotresearch，itsorganicintegratedci

6、rcuitsandflexibleflatpaneldisplayshaveabroaddevelopmentprospects．WecarriedoutonbipolartransistorsbasedonorganicheterojunctionVOPc／C60fabricationandresearch．Inthisthesis，usingavacuumdepositiontechnologytoproduceorganicthinfiImbipolartransistor，researchVOPcthicknessandsubs

7、tratetemperatureimpactonthecharacteristicsoftheorganicthinfilmtransistor．Wetransistorcharacterizationandanalysisoftestdata，getinchangesindeviceperformanceunderdifferentconditions．Wehavesuccessfullyproducedthebettertheperformanceofthedevicebipolartransistorsbasedonorganic

8、heterojunctionVOPc／C60．TheinfluenceofthethicknessofthefirstthinfilmlayerandthesubstratetemDeratureonthe