150立式干涉仪主机说明书

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1、FSn-150激光平面干涉仪使用说明书南京英特飞光电技术有限公司2007年6月1仪器简介FSn-150是由本公司开发的菲索型立式激光干涉仪主机，可外接图像显示器形成目视观察、判读条纹的光机型干涉仪（Marc-150），也可加装移相器、计算机等构成数字波面干涉仪（Hi-Marc-150）。图1Hi-Marc-150干涉仪由于干涉仪对抗震要求较高，本仪器的光学系统应放置在有防震垫的工作台（光学平台或大理石平台）之上，台面一般不小于仪器高度的1.5倍。本仪器采用菲索干涉原理（图2），在图像接收光路中设置了空间滤波器来改善干涉图的质量；一个变倍系统可以放大干涉图以便观察小口径的被测件；电控的对点、测

2、试切换使系统更稳定、调整更方便。高精度的标准参考反射镜保证了相对测量的准确度。本仪器适合测量大口径平面光学元件的面形，无需特殊夹具。也可配各种光学调整架和辅助光学部件进行均匀性、平行差、棱镜角差等的测试。本仪器主要用途为：l平面面形测量（非镀膜表面、高反射率镀膜表面*）l小角度平行平晶的楔角测量l角反射器（锥体棱镜）角度误差/综合波差测量**注：部分测量需要另配特殊夹具和软件。图2菲索型激光干涉仪主机光学原理图2仪器主要技术指标2.1电源：220V/50Hz2.2光源：He-Ne激光器，λ=632.8nm2.3口径：Φ150mm2.4光学质量：λ/10（平面系统，95%口径，P-V）*2.5

3、干涉图放大：1～5×，无级变倍2.6输出：标准视频信号，可为图像采集卡直接接收2.7光路切换：调整（十字叉丝）与测试（干涉图）之间为电控切换2.8CCD摄像机：高分辨力、高灵敏度、低噪声CCD*注1：光学质量主要由标准参考平晶确定。本仪器标准参考平晶质量符合1级平晶要求（GB28-2000平晶检定规程），如有变化，请以合同约定为准。*注2：标准参考平晶是在仪器中的状态是环形支撑，在设计、加工中我们已经考虑了自重造成的弹性变形因素。如需要取下后在其他状态下检测，请考虑加上该因素。*注3：与标准参考平晶配对的反射平晶，是在70％口径左右的环形支撑，自重变形不大。但在长期存放时，请保持工作面向上的

4、状态。3.仪器的连接本干涉仪的电器控制部分已经装载与干涉仪后部。如图3所示，仪器后部具有220V电源接口、与计算机的通讯连接接口、两个视频输出接口（一个接计算机内插的图像采集卡、另一个接视频监视器）。图3干涉仪后部视图（接口与稳频激光器电源）3仪器操作使用方法3.1开机本仪器各部件没有特定的开机顺序，但应该依次打开，不能由电源插座一次全部打开，以防电流冲击造成电气损坏。一般需要在开机后20分钟后再开始测试，因为He-Ne激光器的模式稳定需要一定的时间。刚开机时我们会发现干涉条纹在不停的漂移，有时激光器出现双模时还会使干涉图对比度下降。如果选用的是稳频激光器，还可以通过调整电流设置点，来增加干

5、涉条纹的对比度。3.2光路切换光路切换是使仪器在调整（对点）状态和测试（干涉图）状态之间切换，有三个办法可以进行切换：l干涉仪遥控盒的面板上，有切换开关（Marc系统，图4）；l在干涉仪上，有切换开关（图5）；l计算机上，软件操作界面右边的软面板上，有一个转换按钮（Hi－Marc系统，见软件说明书）。处于调整状态时，在监视器上可看到十字叉丝、参考反射镜和测试反射镜等的反射光点。当光路中放置被测件时，也可以看到它的各个表面的反射光点。图5干涉仪的切换开关（门内左上方）处于测试状态时，可以看到参考反射镜的整个光斑，如果测试反射镜或被测样品调整正确，则可以看到干涉条纹，并可通过条纹获得所需要的测试

6、结果。图4干涉仪遥控器3.1基本光路初调图6调整旋钮位置示意图通过切换开关，进入调整（对点）光路，在监视器上可看到十字叉丝和多个反射光点。调整标准参考反射镜使其基本平行于平台，可以在屏幕上看到标准参考反射镜的反射光点。将调整到屏幕中央，与十字叉丝中心重合，则调整完成。3.2基本光路精调通过切换开关，回到测试（干涉图）光路，微调调整标准参考反射镜，使光斑无切割、变形，此时要注意不要出现杂光。3.3被测件调整将被测件放置到两维调整平台上，然后对其进行初调，对准光点达到重合。通过切换开关，回到测试（干涉图）光路，监视器上可见到密集的干涉条纹。观察干涉条纹是否充满全口径，如有切割，则移动被测件，然后

7、重新进行初调，使被测件全孔径出现在监视器上。最后微调左右与俯仰二个调整螺杆，使得视场中看到的干涉条纹少于六条。l干涉条纹按判读方式不同而不同，如果是目视观察，则3～4条最好，并且至少要在条纹的两个方向进行观察；如果是进行移相采样，则条纹越少越好，条纹越少则波面复原的理论精度越高。l在微调时，请关好测试空间的门，防止气流等的干扰。3.4测试孔径调整如果需要测试小于Φ150mm的样品，可以进行干涉图放大。控制面板