大气压射频微等离子体放电特性的数值模拟的研究

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1、CONTENTSABSTRACT(CHINESE)⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯IABSTRACT(ENGLISH)⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯IIICh印ter1Introduction⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯11．1AtmosphericPressureDischarge⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·l1．2AtmosphericrfDischarge⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯l1．3F1uidModelofAtmosphericPressurerfDisc

2、harge⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯31．3．1FluidModelofAtmosphericPressurerfDischarge⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯··31．3．2TheNumericalAlgorithmoftheFluidModel⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·61．4MainResultsofThesis⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．8Chapter2TheCalculationofPlasmaImpedanceinAtmosphericRadioFrequencyDischarge⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

3、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯112．1FIuidModelofAtmosphericPressurerfPureHeliumDischarge⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯122．2TheEstablishmentoftheEquivalentCircuitModelinReference⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯152．3PlasmaParameters⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．172．3．1ElectronDensity⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯172．3．2SheathLayerThicknessandSheathVoltage⋯⋯⋯⋯⋯⋯

4、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．222．4ChapterConclusions⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯25Chapter3DischargeStructureinAtmosphericrfDischargesatVerySmallGaps·⋯253．1F1uidModelofAtmosphericPressurerfHe]02Discharges⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯253．2DischargeStructureinAtmosphericffPureHeliumDischargesatVerySmallGaps．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

5、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯273．2。1DischargeStructureinAtmosphericrfPureHeliumDischargesatVerySmallGaps⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．283．2．2FrequencyEffectsontheDischargeStructure⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯··313．3DischargeStructureinAtmosphericrfHe／02DischargesatVerySmallGaps323．3．1DischargeStructureinAtmos

6、phericrfHe／02DischargesatVerySmallGaps⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯333．3．2DischargeStructureoftheMainPositiveandNegativeIons⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．35山东大学硕士学位论文3．4ChapterConclusions⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯37Chapter4GenerationofROSinAtmosphericrfMicroplasmaswithHe／02Mixture394．1NumericalMetho

7、dunderaConstantPowerandPowerDensityCondition⋯⋯404．2DischargeCharacteristicsofAtmosphericrfHe／02DischargesunderaConstantPowerDensityCondition．⋯⋯⋯⋯．．⋯．⋯．．⋯⋯⋯．．⋯⋯⋯．．⋯⋯．．⋯．⋯⋯．⋯⋯．⋯⋯⋯⋯⋯．．424．2．1ElectricalCharacteristicsatVerySmallGap⋯⋯⋯⋯．⋯．⋯⋯．．⋯．．⋯