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时间:2019-02-25
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1、http://www.docin.com/weitong2010一:配置晶棒。根据切方工序提供的《领取晶棒记录表》配置所需晶棒。需要由若干小段晶棒拼凑成一组长棒时,每组相同位置所对应的晶棒之间长度差距不得超过线切割工序操作规程线切割工序操作规程线切割工序操作规程线切割工序操作规程yuyu1@18p2p。每个位置的晶棒不得超过段。每组晶棒总长度不低于10mm4450mm,不超过。配置完毕后将晶棒棒号、长度、所在位置填写在《粘晶棒记录表》上。515mm二:领取晶棒。根据《粘晶棒记录表》所配置的晶棒棒号在切方工序领取晶棒并在《领取晶棒记录表》上签名。领取的晶棒根据《粘晶棒
2、记录表》上所标位置摆放在粘晶棒工作台上,并保持清洁。领取晶棒时发现晶棒上有油污,硅粉,水渍等脏物时此晶棒便不得领用,向主管领导反应,等切方工序将晶棒清洁干净后再领用。三:粘连晶棒。将金属垫条放置在粘晶棒限位器上,一边紧靠定位螺钉。用无水酒精清洁金属垫条与玻璃垫条待粘表面,调配克固化剂,搅拌均匀,均匀的涂抹在金属垫条上,然后将玻璃垫条放在上面,用力挤压移动玻璃垫条,使玻璃垫条和金属垫条之间的空气全部排出,充分接触。然后压上重物,等待克胶和1515分钟。取下重物,用无水酒精清洁玻璃垫条和晶棒待粘表面。根据晶棒长度调20克固化剂,搅拌均匀后均匀的涂抹在玻璃垫条上,将晶棒放
3、在上面,用力挤压移动晶棒,使其中的空气全部排除,充分接触,然后压上重物,等待克胶和20~2520~25分钟后翻转过来,将夹持导轨放置在金属垫条上,用牛的力上紧2040个涂抹过黄油的螺栓,放置小时后用于切割。56四:搅拌浆料。根据切割晶棒的总长度用计算软件计算需要的乙二醇和碳化硅,填写在《搅拌浆料记录表》上。先用气泵将乙二醇抽入搅拌器中,然后将碳化硅缓慢均匀的倒入搅拌器中,连续搅拌小时以上,用测流速专用工具测量其流速,时间在4分钟为合格。30~40五:切割前准备步骤。将冷却水开关全部打开,在执行此命令前,要检查外界的冷却系统是否打开,并检查进水口水压在、按F14,F6
4、12-4bar。并将跳线固定好。从机器中将所有掉落的晶片清理干净,并将线网下方的过滤网清洁。、检查切割线网上是否有跳线2,检查右侧放线轮上的切割线的长度(>210km),如果长度不够,请更换新的足够长的线,同时要调整放线轮的参数(直径、线长--km).按、按F153检查左侧收线轮上线的长度(F15),如果长度已超出,请更换新的收线轮,同时要调整收线轮的参数(直径、线长--km),并在新的收线轮上预先绕上1km的线(手动执行).(如出现收线轮线长的报警等,可将收线轮上的线长临时改为2km,待正常后,再将其改回正确的值。)。<430kmhttp://www.docin.
5、com/weitong2010http://www.docin.com/weitong2010、检查小的导线轮,如果有损伤等情况时,可将其更换,正常切割10次左右后,将其更换。4、将左、右侧的门关闭。5、检查浆料供给是否正常向前、向后()?6,否则要更换新的过滤袋、检查浆料罐浆料过滤器的压力最大不要超过:0.5bar(7)。、检查浆料的喷嘴是否被堵住?如果不是很干净,请将其清洗干净。8,并将其锁紧。、将所有工件的夹紧部位清洁,较长晶棒的一侧紧靠活动轴承一侧()9B1701)。检查柜内的冷却水系统的压力必须分别在:最低、检查冷却水的温度在切割时不要超过(按F14,19
6、★C10?冷却系统必须全部打开5bar2.5bar5bar.(;;)。、按检查浆料的密度是否在范围内F11,F4?(=1.65±0.01kg/l)110、按检查浆料的温度及其设定值是否正确F11/S10“Set”(25.4°)?12、按检查切割的工艺参数是否为正确的切割过程参数F12()?13检查所有工件是否被锁紧?并调整设定切割时的零点(按F5,降低工作台)、按检查工件进给的调节因子是否设定在按F13100%?F1314调节上工作台面,按.先释放夹紧,再手动转动机器右侧的手轮,调节结束后,并将工作台再次锁紧。按F9检查在切割时的进给速度是否设定为:检查工件的位置是
7、否回到按处F13/S32.000mm?F13/S101mm/min?、按检查轴承和马达的温度设定值是否正确()F14/S10“Set”?1523°检查向前/向后进线的按钮应没有被激活、按检查线速度的调节因子是否设定在?按F15100%F1516按检查切割进线的方向设定是否正确(F5)?F15(F6,检查接地检查键应被激活向左侧进给“按检查断线检查键应被激活按”)?F15(F8)?F15检查线的张力(自动模式下)设定值是否正确按((F9)?F15/S10应为:按检查线速度在自动模式下设定是否正确应为:35N)?F15/S1012m/s)?(在开始自动切割前检查不
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