掺杂单晶硅纳米薄膜杨氏模量的多尺度理论模型

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1、掺杂单晶硅纳米薄膜杨氏模量的多尺度理论模型吕焕玲王静Themulti-scaletheoreticalmodelsofYoung'smodulusofdopedmonocrystallinesiliconnano-filmLüHuan-LingWangJing引用信息Citation:ActaPhysicaSinica,64,236103(2015)DOI:10.7498/aps.64.236103在线阅读Viewonline:http://dx.doi.org/10.7498/aps.64.236103当期内容Viewtableofcontents:http://wulixb.iphy

2、.ac.cn/CN/Y2015/V64/I23您可能感兴趣的其他文章Articlesyoumaybeinterestedin聚酰亚胺/钽铌酸钾纳米颗粒复合材料结构与机械性能分子动力学模拟Moleculardynamicssimulationstudyonthestructureandmechanicalpropertiesofpolyimide/KTa0:5Nb0:5O3nanopar-ticlecomposites物理学报.2015,64(12):126202http://dx.doi.org/10.7498/aps.64.126202层厚度和应变率对铜-金复合纳米线￿￿阅苡跋斓哪D

3、庋芯Effectsoflayerthicknessandstrainrateonmechanicalpropertiesofcopper-goldmultilayernanowires物理学报.2015,64(1):016201http://dx.doi.org/10.7498/aps.64.016201铒离子注入绝缘体上Si的射程分布研究InvestigationonrangedistributionofErionsimplantedinsilicon-on-insulator物理学报.2014,63(17):176101http://dx.doi.org/10.7498/aps.63

4、.176101掺杂对多层Ge/Si(001)量子点光致发光的影响EffectofdopingonthephotoluminescenceofmultilayerGequantumdotsdepositedonSi(001)substrate物理学报.2013,62(7):076108http://dx.doi.org/10.7498/aps.62.076108量子阱Si/SiGe/Sip型场效应管阈值电压和沟道空穴面密度模型Threshold-voltageandhole-sheet-densitymodelofquantumwellSi/SiGe/Sipfieldeffecttrans

5、istor物理学报.2012,61(16):166101http://dx.doi.org/10.7498/aps.61.166101物理学报ActaPhys.Sin.Vol.64,No.23(2015)236103掺杂单晶硅纳米薄膜杨氏模量的多尺度理论模型吕焕玲王静y(新疆大学物理科学与技术学院,乌鲁木齐830046)(2015年6月2日收到;2015年7月27日收到修改稿)硅纳米材料物理性能的研究对其在半导体技术中的应用是十分重要的.而掺杂有利于改善硅纳米材料的物理特性,提高应用价值,所以本文基于半连续体模型运用Keating形变势,通过模型计算,研究了不同位置及不同掺杂浓度的单晶

6、硅纳米薄膜[100]方向的杨氏模量,分析了掺杂浓度及掺杂位置不同时硅膜杨氏模量与膜厚关系,结果表明,与纯硅膜杨氏模量相比,不同位置的掺杂对硅膜杨氏模量的影响并不明显,不同浓度的掺杂对硅膜杨氏模量的影响较小.而随着硅膜厚度的不断增加,掺杂硅膜杨氏模量与纯硅膜杨氏模量的变化趋势一致,特别是较小尺寸时的硅膜杨氏模量变化较大.说明影响硅膜杨氏模量的主要因素是硅膜厚度.该计算结果对研究硅纳米材料的其他力学特性有一定的参考价值,也为进一步研究掺杂对纳米硅材料力学性能的影响提供一种全新思路.关键词:硅纳米薄膜,杨氏模量,掺杂PACS:61.72.uf,62.25.–g,81.40.JjDOI:10.7

7、498/aps.64.236103在石墨烯上的单晶硅膜的杨氏模量,结果表明其随1引言硅膜厚度的增加而增加,随后又进一步研究了覆盖在有缺陷的石墨烯上的单晶硅膜四个晶向上的杨单晶硅纳米材料展现了很多全新优异的性氏模量和临界应力,结果表明其随硅膜厚度的增加能[1;2],这使得其在很多领域都具有广泛的应用,而增加[13];2012年Pi[14]通过在硅纳米晶体内部和为科学家们所青睐.上世纪50年代就已经开始了表面掺杂硼元素和磷元素的研究,表

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