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1、UniversityofHuddersfieldRepositoryChen,XiaomeiThresholdOptimizationofinterferenceimageofsurfaceroughnessmeasuringinterferometerOriginalCitationChen,Xiaomei(1994)ThresholdOptimizationofinterferenceimageofsurfaceroughnessmeasuringinterferometer.ActaOpticaSinica,14(11).pp
2、.1183-1186.ISSN0253-2239Thisversionisavailableathttp://eprints.hud.ac.uk/16511/TheUniversityRepositoryisadigitalcollectionoftheresearchoutputoftheUniversity,availableonOpenAccess.CopyrightandMoralRightsfortheitemsonthissiteareretainedbytheindividualauthorand/orothercop
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5、nts.hud.ac.uk/第14卷第1期光学学报Vol.14,No.11ACTAOPTICASINICAover,1994年11月Nmbe1994表面粗糙度干涉图像处理中的阑值优选陈晓梅,100095)(长城计量测试技术研究所北京摘要提出用于表面粗糙度自动干涉法测量过程中的一种有效的白光干涉图像阑值分割方法.分割后的二值图像经过干涉条纹边界线萃取后得到的被测表面轮廓波形和表面粗糙度参数的计算结果与高精度TALYsURF6型表面粗糙度测量仪的测量结果十分吻合.此种图像分割方法同样也适用于粗糙表面激光干涉图像的二值化分割.关性词图像分
6、割,表面粗糙度,干涉测量术.1引言表面粗糙度干涉测量法是用光波波长为基准的干涉显微镜绝对测量表面粗糙度的方法.,人工测量读取条纹相当困难且误差大用自动图像处理系统可对干涉显微镜的干涉图像进行,,〔‘’〕,自动分析处理与检测提高了检测速度和干涉图像的判读分辨率为超精加工产品和另件的检.测提供了重要手段·二值化处理是把干涉图像按一定的闷值分割成黑、白干涉条纹两个领域.有各种阂值选,,、择的方法[s1在文献【2〕中作者通过把整个激光干涉图像分成多个包括有亮(白)暗(黑)两.,w。一种条纹的小区域并用双峰(tmode)算法成功的对激光干涉图
7、像进行了分割对于白光干,,,涉图像由于表面粗糙度的影响有时也会呈现双峰灰度分布直方图因此双峰二值化分割.,(uvi算法也适用于白光干涉图像此外作者经过试验发现最大方差maximmarance)算法和差ohi.分直方图(diferiencstogram)也适合两种干涉图像的分割但以上几种分割方法都有它们的.,局限性不是对所有的被测表面都适用因此根据光学干涉理论中光强分布和干涉法测量表、、.,面粗糙度的原理作者提出了更加简洁直观合理和精确的算术平均分割算法2算术平均闭值分割算法,根据等厚干涉原理两束相干光在干涉场上的光强分布为z=z,了
8、:2。os(二」久)(l)++了不不2/.I,12、、式中和分别为两相干光强」为光程差久为光波波长从(l)式中可看出对任一粗糙表1(a)所示,面其单波长的激光干涉图像如图在垂直于干涉条纹的任何一个截面上的光强分布:;:收稿日期1993
