电子工业专用设备》编辑部

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1、节虿蚈肂膈蚈螁羅蒇蚇袃膀莃蚆羅羃艿蚅蚅膈膄螅螇羁蒃螄袀膇荿螃羂羀莅螂螁芅芁荿袄肈膇莈羆芃蒆莇蚆肆莂莆螈节芈蒅袀肄膄蒄羃袇蒂蒃蚂肃蒈蒃袅袆莄蒂羇膁芀蒁蚇羄膆蒀蝿腿蒅葿袁羂莁薈羄膈芇薇蚃羀膃薇螆膆聿薆羈罿蒇薅蚇芄莃薄螀肇艿薃袂节膅薂羄肅蒄蚁蚄袈莀蚁螆肄芆蚀衿袆节虿蚈肂膈蚈螁羅蒇蚇袃膀莃蚆羅羃艿蚅蚅膈膄螅螇羁蒃螄袀膇荿螃羂羀莅螂螁芅芁荿袄肈膇莈羆芃蒆莇蚆肆莂莆螈节芈蒅袀肄膄蒄羃袇蒂蒃蚂肃蒈蒃袅袆莄蒂羇膁芀蒁蚇羄膆蒀蝿腿蒅葿袁羂莁薈羄膈芇薇蚃羀膃薇螆膆聿薆羈罿蒇薅蚇芄莃薄螀肇艿薃袂节膅薂羄肅蒄蚁蚄袈莀蚁螆肄芆蚀衿袆节虿蚈肂膈蚈螁羅蒇蚇袃膀莃蚆羅羃艿蚅蚅膈膄螅螇羁蒃螄袀膇荿螃羂羀莅螂螁

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3、传真：E-mail：１．您的主要职责□半导体制造、工艺、研发□设备、设施维护□品质控制、检测、测试测量□技术支持□企业经营管理□学术研究□产品采购□市场营销２．您公司的主要产品或服务□半导体制造□半导体封测□半导体制造设备、封装设备、测试设备□研究机构、大学院校、政府部门□材料、化学制品供应商□其它３．下列产品哪些是由您指定、推荐或采购l晶圆工艺：□化学机械抛光设备□蚀刻设备□离子注入设备□光刻设备□光刻胶涂布系统□光刻胶显影系统□热处理系统设备□薄膜淀积系统设备□湿法处理设备□晶圆传送设备l封装：□划片设备□烘烤炉等□键合设备：引线,裸芯片,ＴＡＢ□塑封设备□倒装晶片、ＢＧ

4、Ａ工艺设备l测试测量：□老化或环境检测设备□失效分析仪器□ＩＣ测试仪器□光学仪器、显微系统□探针电测系统□测试、参数测量□晶圆检测□厚度、平整度检测l设施、污染控制：□化学试剂输送、配送设置□污染控制设备□水提纯及过滤设备□洁净室设备□自动化控制系统（含软件）４．贵公司工作人员有多少（只选一项）□1000人或以上□500-1000人□300-500人□100-300人□100人以下５．以下设备，您对哪种感兴趣或需要购买l封装设备：□焊球贴装；贴付机□基板装载系统□清洁；组装和包装的清洗设备□切割；修整；模板设备□点胶设备□热模压印设备□引线框编带系统□晶圆级

5、封装印刷系统；焊凸形成；□键合、解键合设备□打标设备□印刷设备；丝网印刷；光刻系统；薄膜印刷□回流焊；锡焊和硬焊设备□带式自动焊接（TAB）；凸点载带自动焊接（BTAB）□硅片层；SOI热压焊接机；融焊机□晶圆黏片；带绕设备□引线键合设备l平板显示器设备：□光刻胶片涂膜设备□阳极氧化设备□碎片移除设备□激光处理；显示面板和光电管的切割系统□液晶注入设备□低压等离子喷涂（LPPS）设备□发光层图案成形和封装设备□面板对准设备；单元组装设备□偏振器粘贴设备□研磨设备□划线及裂片设备l检查和测量设备：□台阶测试仪器□ＣＶ（电容－电压）探测系统□瑕疵；颗

6、粒；隆起的检测□芯片检测；芯片切割□光纤检测仪器□膜厚度；厚度测量；偏振光椭圆率测量仪□硅片；基底度量；拓扑；微分布；平直度测量仪□平面；凹槽检测系统□线宽；临界尺寸（ＣＤ）测量□原子力显微镜（AFM）□共焦扫描显微镜；三维视频显微镜□光学显微镜□电子扫描显微镜（SEM）；聚焦离子束(FIB)；透射电子显微镜（TEM）□组合检测；引级扫描仪□粒子监视器；分析仪－气体或液体□板极检测设备:□电阻系数测量；４探针；薄膜电阻□分光计；傅立叶变换红外光谱仪（FTIR）；衰减全反射；俄歇电子（AES）；SIMS□应力；折射率；反射率和传导

7、率测量□引线键合检查；测试□Ｘ－射线；l工艺设备：□焊盘隆起系统□化学机械抛光(CMP)；电化学抛光等□清洗；基底清洁设备；制备加工□涂层；显影；光刻胶处理；轨道设备□晶体生长和加工设备□硅片表面研磨；切片；抛光设备□淀积；CVD；MOCVD；PECVD等□淀积；（ＰＶＤ）；喷涂；蒸发设备□防护罩；微环境□外延设备；外延层反应器；分子束外延（MBE）；原子层外延（ALE）□蚀刻；除胶；灰化－干湿设备□离子；Ｅ光束蚀刻设备□离子注入设备□光刻机；无掩模光刻系统；